微纳集成电路制造工艺--聚文网

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内容简介

本书为集成电路新兴领域“十四五”高等教育教材。本书共五篇23章。第一篇介绍集成电路制造器件基础，包括MOSFET器件、功率器件、逻辑芯片和存储芯片；第二篇介绍集成电路制造工艺设计基础，包括工艺设计套件、光刻版技术、光学邻近修正（OPC）、集成电路工艺及器件仿真工具TCAD ；第三篇介绍集成电路制造基本工艺，包括光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜工艺、掺杂工艺、清洗工艺与化学机械研磨；第四篇介绍集成电路制造工艺集成技术，包括阱工艺、浅槽隔离工艺、栅极工艺、源漏工艺、金属硅化物工艺、接触孔/通孔工艺和金属互连工艺；第五篇介绍集成电路制造后端工艺，包括晶圆测试、封装技术、品质认证及智慧制造。本书的特色是结合了集成电路制造工程实践中遇到的实际问题及其解决方案，使读者能够深入理解和掌握集成电路工艺实现的各个环节。本书可作为集成电路设计与集成系统、微电子科学与工程专业高年级本科生和研究生的教材，也可作为从事集成电路设计和研发的技术人员的参考书。

作者简介

戴显英，工学博士、教授、博士生导师，西安电子科技大学集成电路学部微电子学院教学指导委员会委员、微电子科学与工程专业负责人与专业课程思政首席教授、工程概论首席教授、集成电路制造工艺课程组负责人。主要从事硅基半导体应变理论与技术、半导体生长动力学、半导体光电生物传感器等的科研与教学，主持国家自然科学基金、国防973等科研项目20多项，发表SCI论文100余篇，获授权发明专利30余项，获教育部科技进步奖二等奖、陕西省科学技术进步奖三等奖、全国高校混合式教学设计创新大赛二等奖和设计之星等奖励。

第一篇集成电路制造器件基础第1章 MOSFET器件 1.1 MOSFET器件工作原理 1.1.1 MOSFET器件结构 1.1.2 MOSFET器件工作原理 1.2 MOSFET器件电流特性简介 1.2.1 漏极电压几乎为0的情况 1.2.2 漏极电压有限的情况 1.3 短沟道MOSFET器件效应 1.3.1 短沟道效应 1.3.2 漏致势垒降低效应 1.3.3 热载流子效应小结思考与习题第2章功率器件 2.1 功率器件概述 2.1.1 功率器件分类 2.1.2 功率器件损耗 2.2 功率MOSFET器件 2.2.1 功率MOSFET器件结构 2.2.2 功率MOSFET电学特性 2.3 VDMOS功率器件 2.3.1 工作原理 2.3.2 静态电性参数小结思考与习题第3章逻辑芯片 3.1 逻辑芯片概述 3.1.1 逻辑芯片工作原理 3.1.2 逻辑芯片类型 3.2 反相器 3.2.1 反相器结构 3.2.2 反相器的直流特性 3.3 静态随机存取存储器（SRAM） 3.3.1 SRAM结构 3.3.2 SRAM的基本操作小结思考与习题第4章存储芯片 4.1 存储芯片概述 4.2 非易失性存储器件（NVM）工作原理 4.2.1 NOR Flash …… 第二篇集成电路制造工艺设计基础第三篇集成电路制造基本工艺第四篇集成电路制造工艺集成技术第五篇集成电路制造后端工艺参考文献

微纳集成电路制造工艺

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