化学气相沉积铌、铼及其复合材料

铌和铼是重要的难熔金 属，在现代工业和航空航天 等高技术领域的应用非常广 泛。化学气相沉积（CVD） 是制备难熔金属材料的一种 重要技术方法。本书结合作 者及团队多年来在该领域积 累的研究成果，详细、系统 地阐述了铌、铼及其复合材 料的化学气相沉积原理、制 备工艺方法、沉积热动力学 、显微组织结构与形成机理 、复合材料界面扩散与反应 、物理力学性能、强韧化机 制及典型应用等。 本书可供高等院校、科 研机构及从事难熔金属材料 研究开发的研究生及科研人 员使用，也可作为院校金属 材料或材料物理与化学专业 的教学参考书。

第1章 概述 1.1 引言 1.2 化学气相沉积技术 1.2.1 化学气相沉积技术简介 1.2.2 沉积原理及装置 1.3 铌及铌合金 1.3.1 铌的强化 1.3.2 铌合金的应用 1.3.3 铌合金的制备 1.4 铼及铼合金 1.4.1 铼的简介 1.4.2 铼及合金的应用 1.4.3 铼材料的制备 1.4.4 铼的组织结构 1.4.5 铼的力学性能 1.4.6 铼的发射率 第2章 化学气相沉积铌 2.1 CVD铌沉积热力学 2.1.1 氯化区热力学计算 2.1.2 沉积区热力学计算 2.1.3 氯化实验分析 2.2 CVD铌沉积动力学 2.2.1 沉积温度和氯化温度的影响 2.2.2 氯气流量和氢气流量的影响 2.3 CVD铌的组织结构与性能 2.3.1 金相组织 2.3.2 微结构特征 2.3.3 物理力学性能 第3章 化学气相沉积铼热动力学 3.1 CVD铼化学反应自由能 3.1.1 温度对反应吉布斯自由能的影响 3.1.2 标准摩尔吉布斯自由能 3.1.3 理想气体化学平衡 3.1.4 化学平衡常数计算 3.2 CVD铼沉积动力学 3.2.1 动力学实验研究 3.2.2 分子动力学模拟 第4章 CVD铼的组织结构及形成机制 4.1 CVD铼的组织结构 4.1.1 表面形貌 4.1.2 晶粒组织 4.1.3 微结构 4.2 CVD铼的织构分析 4.2.1 定性分析 4.2.2 定量分析 4.2.3 微观织构分析 4.3 CVD铼的形成机制 4.3.1 晶粒生长 4.3.2 织构形成 4.3.3 表面形貌