微机电系统和微结构及其在航天中的应用--聚文网

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内容简介

罗伯特·奥西安德、M.安·加里森·达林、约翰 ·L.钱皮恩编著的《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑， MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》适合航天、航空和MEMS技术领域的设计师、工程师、管理者和高校院所的相关学科的科研人员、高年级本科生、研究生和相关科技人员阅读。

第1章概论 1.1 概述 1.2 背景和意义 1.3 航天用的MEMS器件 1.3.1 数字微型推进项目STS93 1.3.2 皮卫星任务 1.3.3 天蝎座亚轨道示范 1.3.4 基于MEMS的微型卫星侦察器系列 1.3.5 导弹和军火惯性测量单元 1.3.6 蛋白石、蓝宝石和绿宝石 1.3.7 国际案例 1.4 微机电系统和微结构在航天中的应用 1.4.1 对MEMS的理解和MEMS的展望 1.4.2 航天系统和仪器中的MEMS 1.4.3 卫星分系统中MEMS 1.4.4 MEMS技术航天领域应用的插入点 1.5 小结参考文献第2章 MEMS技术在航天任务中的应用前景第3章 MEMS加工第4章空间环境因素对微纳米技术的影响第5章空间辐射影响和微机电系统第6章微纳米技术在空间系统的应用第7章微加工技术在科学仪器方面的应用第8章微机电系统在航天器通信中的应用第9章航天器热控制中的微系统第10章航天器制导、导航和控制中的微系统第11章微推进技术第12章空间应用的MEMS封装技术第13章关键性空间应用的处理与污染控制的考虑第14章 MEMS应用的材料选择第15章基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试第16章航天微机电系统与微结构的保障方法

微机电系统和微结构及其在航天中的应用

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