MEMS材料与工艺手册/微纳系统系列译丛

字数: 1192
出版社: 东南大学
作者: (美)利萨·格迪斯//林斌彦|译者:黄庆
商品条码: 9787564140533
适读年龄: 12+
版次: 1
开本: 16开
页数: 966
出版年份: 2014
印次: 1

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内容简介

微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著，内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。

1 MEMS设计流程 2 半导体和介质材料的添加工艺 3 金属材料的添加工艺 4 聚合物材料的添加工艺 5 压电材料的添加工艺：压电MEMS 6 形状记忆合金材料与工艺 7 微机械加工中的干法刻蚀 8 MEMS湿法腐蚀工艺和过程 9 MEMS光刻和微加工技术 10 MEMS中的掺杂工艺 11 圆片键合 12 MEMS封装材料 13 表面处理及平坦化 14 MEMS工艺集成