微电子制造技术概论(微电子与集成电路技术丛书)

装帧: 平装
出版社: 清华大学出版社
作者: 严利人、周卫、刘道广
出版日期: 2010-06-26
商品条码: 9787302208181
出版年份: 2010

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内容简介

本书介绍和描述了集成电路工艺制造的成套工艺流程和各工艺单步的技术内容。对于流程的介绍，除举例和说明一般性流程特点之外，专有一章说明了流程调度实施的技术与算法；对于各工艺单步，首先根据各单项工艺技术的作用进行了粗略分类，在此基础上，从工艺原理、工艺设备技术特点、实践操作等不同侧面，进行了略做扩展的描述。本书可作为集成电路制造相关专业的本科生和研究生教材，也可供相关专业人士参考。