硅基光电子学--聚文网

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内容简介

本书是编者在微纳光电子领域多年研究和教学基础上完成的。系统描述了硅基光电子学的基础理论、器件原理、及应用前景。全书共10章。第1-3章讲述了硅基光电子学的起源及所需的基本知识；第4章介绍了硅基无源器件；第5-8章为硅基有源器件，包括光源、调制器、探测器、表面等离子体激元器件等；第9章介绍器件工艺和系统集成；第10章探讨了硅基光电子学的应用。

第一章绪论
1.1 从微电子到光电子
1.2 硅基光电子学的发展
1.3 硅基光电子学的应用
1.4 总结
参考文献
第二章硅中光子与电子的相互作用
2.1 波动光学与光子光学
2.2 半导体能带结构
2.3 硅基光子晶体带隙结构
2.4 硅中光子与电子空穴的相互作用
参考文献
第三章硅基光波导
3.1 电磁理论基础
3.2 光波导基本理论
3.3 波导耦合理论
3.4 SOI光波导
参考文献
第四章硅基无源器件
4.1 光栅器件
4.2 光子晶体平板波导
4.3 多模干涉耦合器
4.4阵列波导光栅
4.5 微环谐振腔
4.6 总结
参考文献
第五章硅基光源
5.1 光发射的基础理论
5.2 硅放大的限制
5.3 硅基发光材料
5.4 硅基发光二极管
5.5 硅基激光器
5.6 总结
参考文献
第六章硅基光学调制
6.1光学调制原理
6.2 光学调制评价
6.3 硅基电光调制
6.4 硅基热光调制
6.5 硅基声光调制
参考文献
第七章硅基光电探测器
7.1 光电探测器的基本原理
7.2 光电探测器的特性和结构
7.3 硅光电探测器
7.4 锗硅光电探测器
7.5总结
参考文献
第八章硅基表面等离子激元器件
8.1 表面等离子激元概述
8.2 表面等离子激元局域增强特性
8.3 表面等离子体激元器件
8.4 总结
参考文献
第九章硅基光电子器件工艺与系统集成
9.1 平面工艺
9.2 薄膜制备
9.3 光刻技术
9.4 刻蚀技术
9.5 系统集成
9.6 总结
参考文献
第十章硅基光电子学的应用
10.1 光互连――集成高速硅基互连芯片
10.2光通信――集成100Gbit/s相干传输芯片
10.3 光传感――集成光学传感片上系统芯片
10.4 太阳能电池
参考文献

硅基光电子学

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