编辑推荐语:1959年12月美国物理学家,诺贝尔奖得主,Richard Feynmnan发表的有名演讲昭示了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)的来临。微机电系统是指可以批量制造的,集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路等于一体的器件或系统。其具有体积小、重量轻、功耗低、批量生产等显著特征。同时,微机电系统技术是一个交叉学科领域,融合了机械、电子、材料、物理、化学、控制、工艺等多个学科。其涵盖了微惯性器件、微光学器件、微化学和生物芯片、射频器件和能源器件等多个应用领域。在微纳米见方的尺度上集成了传感、转换、处理和执行等多相功能,改变了人类感知和控制世界的方式。因此,MEMS自20世纪80年代中后期崛起以来,受到了发达国家国防部门的普遍高度重视。到2010年MEMS产品的销售额达到80亿美元,并以每年10%以上的速度增长。 到目前为止,靠前还没有系统阐述微机电系统技术在航天应用方面的参考书。由Robert Osiander、M. Ann Garrison Darrin和John L. Champion三位教授主持编著的《MEMS and Microstructures in Aerospace Applications》这本书,是联合了James J. Allen等十几位知名教授根据他们自己在微机电系统技术及其在航天领域应用方面多年的研究成果总结共同完成的专著。其内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件(部件)和系统在航天领域应用中需要特别考虑和研究的方方面面,具体包括:(1)微机电部件和系统技术概论;(2) 微机电系统技术在航天的使命;(3) 微细加工工艺;(4)空间环境和太空辐射对航天用微机电器件的影响;(5)MEMS技术在航天系统、仪器、通讯、热控、导航、推进等方面的应用;(6)MEMS封装、材料、可靠性和测试验证在航天应用中的考虑。总的来看,这本书基本概念比较清楚,内容丰富,具有一定的参考价值,适合于航天领域的设计师、工程师、管理者和高校院所的航天科研人员和高年级本科生、研究生和相关科技人员阅读。