组合设备调度及其优化控制

装帧: 平装
出版社: 中南大学出版社
作者: 潘春荣著
出版日期: 2020-04-01
商品条码: 9787548738176
版次: 1
开本: 16开
出版年份: 2020

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内容简介

本书以组合设备的调度及其优化控制为核心，系统阐述了不同约束条件下的组合设备建模、调度及优化控制问题。全书内容包括：半导体芯片的制造过程，晶圆驻留时间约束调度；作业时间波动调度；晶圆重入加工调度；暂态过程优化控制；PM故障响应调度；组合设备群调度；参数化虚拟组合设备。本书是笔者及笔者所在的相关团队关于组合设备建模、调度与控制问题所做工作的总结，主要读者对象为半导体晶圆制造相关的大学高年级本科生、研究生、工程技术和科研人员。