半导体制造系统智能调度

吴启迪、李莉、乔非、于青云编著的《半导体制造系统智能调度》以半导体制造系统为研究对象，在全面分析其调度特点的基础上，详细解剖、分析半导体制造系统各类调度问题，运用智能化方法设计了相应的求解方案，并通过实例给出了各类调度问题智能化解决方案的实际使用方法。本书在认真总结国内外多年的半导体制造系统智能调度研究成果的基础上，结合作者多年在制造系统智能调度，特别是半导体制造系统智能调度领域的研究与应用成果，对复杂的半导体制造系统智能调度问题从理论到方法再到应用进行了多方面、系统化的论述。
本书可供从事半导体制造系统计划、调度和优化等相关领域研究工作的科研人员，自动控制、工业工程等专业研究生和教师，制造管理及微电子制造行业生产管理或工程技术人员等阅读和参考。

吴启迪，浙江人，现任全国人大常委会委员，同济大学教授、博导，兼任国务院学位委员会委员、中国自动化学会常务理事、上海市信息化专家委员会主任。1970年清华大学本科毕业，1981年获清华大学硕士学位，1986年获瑞士联邦苏黎世理工学院博士学位。1995―2003年任同济大学校长、教授、博导、中德学院院长、同济大学女子学院院长、同济大学学术委员会主任。曾任“十五大”和“十六大”代表、十六届中央候补委员、上海市委第七届和第八届委员、全国妇联副。2003―2008年任教育部副部长、国务院学位委员会副主任委员兼秘书长。
吴启迪教授长期从事控制理论、控制工程与工程管理专业的教学、科研和管理工作，先后主持完成了国家、省部级科研项目30余项，出版专著10余部，发表学术论文200余篇。曾两次获国家科技进步二等奖（2005年和2007年）、教育部科技进步一等奖（2004年和2006年），上海市科技进步一等奖（2001年），并两次获得国家教育成果二等奖（2005年和2009年），以及中国高校科技进步奖、上海市教育威果奖等科研奖项20余项。并先后获得过全国十大女杰、全国三八红旗手、很好留学回国人员等多项荣誉称号。1999年获授德意志联邦共和国大十字勋章。

第1章 概述
1.1 半导体制造过程
1.2 半导体生产线运作总体框架
1.2.1 物理系统
1.2.2 信息系统
1.3 半导体生产线调度
1.3.1 调度特点
1.3.2 调度类型与调度方法
1.3.3 评价指标
1.4 半导体制造系统调度体系结构
1.4.1 组件化可重构半导体生产线调度体系结构
1.4.2 半导体生产线调度仿真系统通用结构模型
1.4.3 基于数据的动态建模方法
1.4.4 组件化半导体生产线调度仿真系统
1.5 小结
第2章 智能化调度方法
2.1 计算智能简介
2.1.1 计算智能起源
2.1.2 计算智能的分类及特点
2.2 遗传算法
2.2.1 遗传算法简介
2.2.2 遗传算法求解流程
2.2.3 基于遗传算法的单机调度问题求解
2.3 免疫算法
2.3.1 免疫算法简介
2.3.2 免疫算法基本流程
2.3.3 基于免疫算法的多目标柔性作业车间调度问题求解
2.4 分布估计算法
2.4.1 分布估计算法简介
2.4.2 分布估计算法基本流程
2.4.3 基于分布估计算法的流水车间调度
2.5 蚁群优化算法
2.5.1 蚁群优化算法简介
2.5.2 蚁群优化算法模型及基本流程
2.5.3 基于蚁群优化算法的作业车间调度问题求解
2.6 Memetic算法
2.6.1 Memetic算法简介
2.6.2 Memetic算法求解流程
2.6.3 基于Memetic算法的车间动态调度问题求解
2.7 小结
第3章 智能化投料控制策略
3.1 概述
3.1.1 常用投料控制策略
3.1.2 改进的投料控制策略
3.2 混合智能优化投料控制策略
3.2.1 基于混合智能算法的投料控制
3.2.2 混合智能算法运行效果及性能分析
3.3 基于Memetic算法的投料控制策略
3.3.1 Memetic算法及SBOI平台介绍
3.3.2 基于SBOI平台的投料控制实例
3.4 小结
第4章 瓶颈设备智能化调度
4.1 约束理论
4.1.1 TOC的原理
4.1.2 TOC对生产系统的计划与控制步骤
4.1.3 TOC在生产计划与管理方面的优势
4.2 瓶颈设备识别方法
4.2.1 瓶颈设备定义
4.2.2 瓶颈设备定量识别算法
4.2.3 瓶颈设备辨识算法
4.2.4 瓶颈设备管理
4.3 基于GA的瓶颈设备调度方法
4.3.1 遗传算法的应用
4.3.2 基于GA的瓶颈设备调度验证
4.4 基于ACO的瓶颈设备调度方法
4.4.1 概述
4.4.2 Mini-Fab半导体生产线调度问题
4.4.3 基于ACO算法的瓶颈区排程方法
4.5 小结
第5章 批加工设备智能调度
5.1 概述
5.2 批加工设备调度描述
5.2.1 单台批加工设备调度
5.2.2 并行批加工设备调度
5.2.3 带有批加工设备的半导体生产线动态调度
5.3 基于ACO的批加工设备调度方法
5.3.1 概述
5.3.2 问题假设
5.3.3 基于ACO的半导体生产线批加工区调度方法
5.4 基于柔性ACO的批加工设备调度方法
5.4.1 柔性蚁群算法
5.4.2 需求分析
5.4.3 算法设计
5.4.4 算法实现
5.5 基于ACO-ICSA的批加工设备调度
5.5.1 免疫克隆选择算法
5.5.2 基于ACO-ICSA融合算法的单台批加工设备调度研究
5.6 小结
第6章 半导体生产线智能化调度方法
6.1 概述
6.2 基于ACO的单瓶颈半导体生产线调度方法
6.2.1 调度模型
6.2.2 基于蚁群算法的一体化调度
6.2.3 仿真分析
6.3 基于Multi-ACO的多瓶颈半导体生产线调度方法
6.3.1 概述
6.3.2 Mini-Fab半导体生产线调度问题
6.3.3 基于Multi-ACO的多瓶颈加工区排程方法
6.4 基于ACO-ICSA的多瓶颈半导体生产线调度方法
6.4.1 概述
6.4.2 Mini-Fab半导体生产线调度问题
6.4.3 基于ACO-ICSA的瓶颈区排程方法
6.5 小结
附录A 专业词语汇总表
附录B 模型介绍191B.1 HP24模型介绍
B.2 Mini-Fab模型介绍
B.3 某6寸生产线简化模型介绍
参考文献