精密和超精密加工技术(第2版)

精密和超精密加工技术近年来获得飞跃发展。本书全面系统地讲述了精密和超精密加工技术，内容包括：超精密切削和金刚石刀具，精密和超精密磨削、研磨与抛光，精密和超精密机床，精加工中的测量技术和在线误差补偿，微细加工技术，精加工的支撑环境和纳米技术。本书内容丰富，不仅系统讲述了精密加工的基础原理和技术，新技术在精加工中的应用，还介绍了国内外的最新发展和成就。本书可供机制专业研究生和本科生作教材，同时也是科技人员的重要参考书。

第2版序1 第2版序2 第2版前言 第1版前言 第一章 精密和超精密加工技术及其发展展望   第一节 发展精密和超精密加工技术的重要性   第二节 超精密加工技术的现状   第三节 超精密加工技术发展展望   复习思考题 第二章 超精密切削与金刚石刀具   第一节 超精密切削的切削速度选择   第二节 超精密切削时刀具的磨损和寿命   第三节 超精密切削时积屑瘤的生成规律   第四节 切削参数变化对加工表面质量的影响   第五节 切削刃锋锐度对切削变形、加工表面质量的影响   第六节 金刚石刀具超精密切削中的若干理论问题   第七节 超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构   第八节 金刚石晶体各晶面的耐磨性和好磨难磨方向   第九节 单晶金刚石刀具的磨损破损机理   第十节 金刚石晶体的定向   第十一节 金刚石刀具的设计与制造   复习思考题 第三章 精密磨削和超精密磨削   第一节 概述   第二节 精密磨削   第三节 超硬磨料砂轮磨削   第四节 超精密磨削   第五节 精密和超精密砂带磨削   复习思考题 第四章 精密和超精密加工的机床设备   第一节 精密和超精密机床发展概况   第二节 典型超精密机床的简介   第三节 精密主轴部件   第四节 机床的总体布局和床身导轨   第五节 进给驱动系统   第六节 微量进给装置   第七节 机床运动部件位移的激光在线检测系统   第八节 机床的稳定性和减振隔振   第九节 减少热变形和恒温控制   复习思考题 第五章 精密加工中的测量技术   第一节 精密测量技术概述   第二节 测量基准   第三节 直线度、平面度和垂直度的测量   第四节 角度和圆分度的测量   第五节 圆度和回转精度的测量   第六节 激光测量   第七节 自由曲面的测量   复习思考题 第六章 在线检测与误差补偿技术   第一节 概述   第二节 在线检测与误差补偿方法   第三节 微位移技术   复习思考题 第七章 精密研磨与抛光   第一节 研磨   第二节 抛光   第三节 精密研磨与抛光的主要工艺因素   第四节 精密研磨抛光新技术   第五节 曲面研磨抛光技术   复习思考题 第八章 微细加工技术   第一节 微细加_丁技术的出现   第二节 微细加工的概念及其特点   第三节 微细加工机理   第四节 微细加工方法   第五节 集成电路与印制线路板制作技术   复习思考题 第九章 精密和超精密加工的外部支撑环境   第一节 空气环境和热环境   第二节 振动环境   第三节 噪声环境   第四节 其他环境   第五节 精密和超精密加工的环境设施   复习思考题 第十章 纳米技术   第一节 纳米技术概述   第二节 纳米级测量和扫描探针测量技术   第三节 纳米级加工技术和原子操纵   第四节 微型机械、微型机电系统及其制造技术   复习思考题 参考文献