微机电系统机械学(清华大学微机电系统工程系列教材--聚文网

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经过多年的教学实践和科研积累，《清华大学微机电系统工程系列教材:微机电系统机械学》可以作为微机电系统工程及相关专业本科生或者研究生教材，也可以作为从事微机电系统设计开发的研究生和科研技术人员的参考书。《清华大学微机电系统工程系列教材:微机电系统机械学》由张向军编著。

内容简介

《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》系统论述了微机电系统的力学原理基础及其规律，内容主要针对机械系统的特征尺度降低到微米和纳米量级时出现的主导作用力及各种微观效应。本书取材前沿，较全面地反映了微机电系统中的力学基础问题。全书共6章，根据自2005年9月起在清华大学精密仪器与机械学系全国首次开设的“微机电系统工程”专业的专业基础课讲义改编而成。《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。经过多年的教学实践和科研积累，《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》可以作为微机电系统工程及相关专业本科生或者研究生教材，也可以作为从事微机电系统设计开发的研究生和科研技术人员的参考书。

0引子参考文献1微机电系统机械学问题概述1.1什么是微机电系统1.2为什么发展微机电系统1.3微尺度机械的微观效应简述参考文献2微系统的表面与界面2.1固-液体的表面2.1.1表面的定义2.1.2固体表面2.1.3液体表面2.2固液界面与固液接触角2.2.1固液界面2.2.2固液接触角2.2.3接触线张力2.3粗糙表面的固液接触角2.3.1Wenzel模型与Cassie模型2.3.2固体表面的微纳结构与亲疏水性质2.3.3粗糙表面的接触角滞后？？花瓣效应与荷叶效应2.4弯液面的毛细作用参考文献3微纳尺度作用力3.1微纳尺度基本力3.1.1基本力3.1.2电磁力与物质的组成和性质3.1.3极性分子和偶极矩3.1.4分子极化与极化强度3.2分子之间的范德华力3.2.1Keeson作用势3.2.2Debye作用势3.2.3色散力作用势3.2.4Lennard-Jones势3.3表面间的范德华作用力3.3.1微观颗粒之间的范德华作用力3.3.2介质中两个微粒子的范德华作用力3.4表面间的静电力3.5微间隙表面间的液桥力作用3.5.1光滑表面之间的液桥力3.5.2粗糙表面之间的液桥力3.5.3表面间液桥力的实验研究3.6微纳尺度作用力的测量3.6.1表面力仪3.6.2扫描隧道显微镜3.6.3原子力显微镜3.6.4原子力显微镜中的力曲线参考文献4MEMS微构件的变形与振动4.1典型微构件的变形4.1.1微梁构件的弯曲变形4.1.2薄板构件的弯曲变形4.1.3典型微构件的扭转变形4.2典型微构件的单自由度振动4.2.1振动方程的建立……5微机械运动表面的接触、黏着与润滑6微尺度流动附录A实验内容与安排附录B试卷样题后记

微机电系统机械学(清华大学微机电系统工程系列教材

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