微系统设计与制造(王喆垚)/清华大学信息科学技术学院教材-微电子光电子系列

出版社: 清华大学出版社
作者: 王
出版日期: 2008-03-01
商品条码: 9787302151968
开本: 16开
出版年份: 2008

定价：~~￥59~~ 销售价：登录后查看价格￥{{selectedSku?.salePrice}}

库存： {{selectedSku?.stock}} 库存充足

{{item.title}}：

立即购买加入书单收藏

精选

¥5.83

世界图书名著昆虫记绿野仙踪木偶奇遇记儿童书籍彩图注音版

¥5.39

正版世界名著文学小说名家名译中学生课外阅读书籍图书批发 70册

¥8.58

简笔画10000例加厚版2-6岁幼儿童涂色本涂鸦本绘画本填色书正版

¥5.83

世界文学名著全49册中小学生青少年课外书籍文学小说批发正版

¥4.95

全优冲刺100分测试卷一二三四五六年级上下册语文数学英语模拟卷

¥8.69

父与子彩图注音完整版小学生图书批发儿童课外阅读书籍正版1册

¥24.2

好玩的洞洞拉拉书0-3岁宝宝早教益智游戏书机关立体翻翻书4册

¥7.15

幼儿认字识字大王3000字幼儿园中班大班学前班宝宝早教启蒙书

¥11.55

用思维导图读懂儿童心理学培养情绪管理与性格培养故事指导书

¥19.8

少年读漫画鬼谷子全6册在漫画中学国学小学生课外阅读书籍正版

¥64

科学真好玩

¥12.7

一年级下4册·读读童谣和儿歌

¥38.4

原生态新生代(传统木版年画的当代传承国际研讨会论文集)

¥11.14

法国经典中篇小说

¥11.32

上海的狐步舞--穆时英(中国现代文学馆馆藏初版本经典)

¥21.56

猫的摇篮(精)

¥30.72

幼儿园特色课程实施方案/幼儿园生命成长启蒙教育课程丛书

旧时风物(精)

三希堂三帖/墨林珍赏

寒山子庞居士诗帖/墨林珍赏

苕溪帖/墨林珍赏

楷书王维诗卷/墨林珍赏

兰亭序/墨林珍赏

祭侄文稿/墨林珍赏

蜀素帖/墨林珍赏

真草千字文/墨林珍赏

进宴仪轨(精)/中国古代舞乐域外图书

舞蹈音乐的基础理论与应用

内容简介

微系统（mems是一门多学科高度交叉的前沿学科领域，其设计、制造和应用广泛涉及到物理学、化学、力学、微电子学、、光学、生物医学、和控制工程等多个学科。本书介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件，主要内容包括：微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统（pf mems)、光学微系统（moems)、生物医学微系统（biomems)以及微流体与芯片实验室。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域，力争展示微系统的全貌。本书可供高等院校电子、微电子、微机电系、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师使用，也可供相关领域的工程技术人员参考。

目录
1 微系统概述
2 微系统力学
3 微系统制造技术
4 微型传感器
5 微型执行器
6 射频微系统（RF MEMS)
7 光学微系统（MOEMS)
8 生物医学微系统（BioMEMS)
9 微流体与芯片实验室