新型传感技术及应用(第4版)--聚文网

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内容简介

传感器在当代科学技术中占有十分重要的地位，所有以计算机为基础的自动化、智能化系统，都需要传感器提供赖以做出实时决策的数据。近年来，作为信息获取重要手段的传感技术发展非常迅速。传感技术自身的复杂性、综合性以及应用的个性化，使得传感器的发展周期远远长于信息技术中传输与处理技术的发展周期，非常明显的发展趋势是：沿用传统的作用原理和某些新效应；优先使用晶体材料，采用微机械加工工艺和微电子技术；从传统的结构设计转向基于微机械加工工艺的微结构设计，研制各种新型传感器及传感器系统，以满足体积、质量、功耗及动态和静态特性等方面的要求。本教材正是基于这一发展趋势来构思并选材编著的。本教材简要介绍新型传感技术的发展趋势、传感器的特性及其评估、传感技术中采用的先进材料、以硅材料为重点的先进制造技术、传感器敏感结构的建模和模拟计算方法；介绍多类具有代表性的传感器的测量原理及应用，包括：热电式传感器、应变式传感器、压阻式传感器、电容式传感器、电磁式传感器、压电式传感器、薄膜传感器、谐振式传感器、声表面波传感器等。本教材在每一章都给出一些应用实例及分析，并配有丰富的思考题与习题。本教材可作为测控技术与仪器、智能感知工程、电气工程及其自动化、自动化、机械工程及自动化、过程装备与控制工程、探测制导与控制技术等专业本科生的教材，也可作为仪器科学与技术、控制科学与工程、机核工程等专业研究生的教材，也可供有关的工程技术人员参考。

第1章绪论 1.1 传感器的作用 1.2 新型传感技术的发展 1.2.1 新原理、新材料和新工艺的发展 1.2.2 微型化、集成化、多功能和智能化发展 1.2.3 多传感器融合与网络化发展 1.2.4 量子传感技术的快速发展 1.3 传感器的分类与命名 1.4 传感技术的特点 1.5 本教材的特点及主要内容 1.6 传感技术领域的学术交流习题与思考题第2章传感器的特性 2.1 传感器的静态标定 2.1.1 静态标定的条件 2.1.2 传感器的静态特性 2.2 传感器的主要静态性能指标 2.3 传感器动态特性的描述 2.3.1 时域动态特性方程 2.3.2 频域动态特性方程 2.4 传感器的动态响应与性能指标 2.4.1 时域动态响应与性能指标 2.4.2 频域动态响应与性能指标 2.5 加速度传感器动态特性洲试及改进 2.6 传感器噪声及共减小的方法 2.6.1 传感郴噪声产生的原因 2.6.2 传感器的信必比 2.6.3 传感器低噪声化的方法习题与思考题第3章传感器与敏感材料 3.1 概述 3.2 硅材料 3.2.1 单晶硅 3.2.2 多晶硅 3.2.3 碳化硅 3.2.4 氧化硅和氮化硅 3.3 压电材料 3.4 熔凝石英 3.5 弹性合金 3.5.1 Ni基弥散硬化恒弹合金 3.5.2 马氏体弥散硬化合金 3.6 纳米材料 3.7 石墨烯材料习题与思考题第4章传感器的制造和封装技术 4.1 概述 4.2 体型微加工技术 4.2.1 化学腐蚀 4.2.2 离子刻蚀 4.3 表面微加工技术

新型传感技术及应用(第4版)

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