纳米计量基础与应用--聚文网

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编辑推荐

本书系统阐述了纳米计量的基本概念、国内外纳米计量检测发展现状以及纳米计量的量值溯源与传递等，全面介绍了建立的从国家到地方直至产业的全链条全覆盖的纳米几何量值传递体系，满足产业的共性基础纳米计量需求，并详细介绍了基于纳米几何特征参量计量标准器，面向集成电路、国防军工、先进制造和生物医药等典型产业开展的应用示范案例，将精准的纳米量值与科学的测量方法相结合，直面产业的纳米计量难题，提供解决方案。 ★纳米计量、纳米检测技术的发展、纳米几何量计量体系 ★纳米检测技术：光学显微成像技术、扫描探针显微技术、电子束显微技术、电学测微技术 ★纳米检测技术的产业应用示范：先进制造产业应用示范：平板显示领域、空气净化领域、纳米制造领域、精密加工领域、服务公共测试平台 ★生物医药产业应用示范：药物注册及仿制药一致性评价领域、纳米药物研究领域、医疗器械领域、公共安全领域 ★微电子与集成电路产业应用示范：元器件研制、关键参数测量领域、失效分析领域

内容简介

本书是介绍纳米计量的发展现状、相关技术及其在多个产业中应用的一本技术专著，来源于笔者及所在实验室同仁们在纳米计量领域的研究工作。本书以纳米计量为主线，主要包括技术和应用两大部分。在技术部分主要介绍了纳米计量的基本内容以及涉及的纳米检测技术；在应用部分主要选取纳米计量在先进制造产业、生物医药产业、微电子与集成电路产业的典型应用进行介绍。本书通过对纳米计量的基本内容与应用进行介绍得以传承计量文化，普及计量知识，使读者对纳米计量这一小众学科的基础研究有所了解，对我国纳米计量体系有系统、准确的认识。
本书重点介绍了我国自主研发的纳米计量测量仪器的技术指标（已基本达到了国际先进水平），自主研发的纳米几何特征参量标准器及标准物质，同时分享了纳米计量在先进制造、生物医药、微电子与集成电路产业的多个典型应用示范。
本书不仅适合纳米计量相关的工程技术人员参考，也供高等学校仪器科学与技术专业及相关专业师生参阅。

作者简介

施玉书，研究员，中国计量科学研究院纳米计量研究室主任，微纳计量及应用技术研究团队带头人，博士毕业于天津大学。曾先后在英国国家物理实验室（NPL）与德国联邦物理技术研究院（PTB）做中长期访问学者。主要研究方向为微纳尺度形貌结构的计量与标准化，致力于我国纳米几何量值的等效一致与国际互认，保障我国纳米科技与产业高端精密仪器的量值准确可靠。担任国家重点研发计划项目"纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范"项目负责人，主持完成了国家级项目课题近10项。长期从事国家最高纳米计量标准装置与多量值多结构纳米几何特征参量国家标准物质的自主研制。研究建立国家计量基标准装置近10项，获批国家有证标准物质近30项，制定相关国家标准9项，制定和报批国家计量技术规范7项，主导/参与国内外比对7项，获得省部级、学会科技奖励10余项。担任国际计量委员会长度咨询委员会纳米工作组（CIPM/CCL/WG-N）成员，ISO/TC 213注册专家、ISO/TC 201 SC9中国代表，东北亚标准合作会议3D数字化（WG11）召集人；担任全国几何量长度计量技术委员会（MTC2）委员以及纳米几何量计量工作组长、全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分技术委员会（SAC/TC279/SC2）委员等。陈鹰，正高级工程师，现任职于上海市计量测试技术研究院材料科学与质量检测中心。1997年毕业于复旦大学化学系，曾先后在上海市计量测试技术研究院气体室、Intertek检验认证集团、上海市计量测试技术研究院理化分析室从事材料领域的计量测试方法研究与理化分析检测工作。先后承担科技部重点研发计划、上海市"科技创新行动计划"近十项，主持国家标准制定四项，参与国标制修定十余项。目前为全国气体标准化技术委员会委员，全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分技术委员会委员、上海市计量测试学会分析测试专业委员会主任委员。担任《医用气体工程》、《上海计量测试》编委。曾获上海市科技进步二等奖1次、三等奖2次，上海市标准化优秀成果奖1次。

第1章绪论001
第2章纳米计量003
2.1纳米计量的溯源与传递004
2.1.1纳米量值的溯源004
2.1.2纳米量值的传递006
2.2纳米检测技术的发展008
2.2.1光学显微镜009
2.2.2扫描探针显微镜010
2.2.3电子显微镜012
2.3纳米几何量计量体系014
2.3.1计量基准组成016
2.3.2纳米几何量计量标准023
2.4国内外纳米计量领域相关委员会028
2.4.1纳米计量领域国外计量技术委员会028
2.4.2纳米计量领域国内计量技术委员会029
2.4.3纳米计量领域国外标准化委员会029
2.4.4纳米计量领域国内标准化委员会029
……

纳米计量基础与应用

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