紫外固体激光微细加工技术

字数: 177000
装帧: 平装
出版社: 哈尔滨工业大学出版社
作者: 齐立涛著
商品条码: 9787560392417
版次: 1
开本: 其他
页数: 202

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内容简介

本书主要介绍了紫外固体激光微细加工技术的理论、方法及应用。内容包括了紫外固体激光器、紫光激光微细加工系统及检测方法、紫外激光微细加工技术的应用、敬光微细加工的波长优化、紫外固体激光微细加工单晶硅和碳化硅、激光加工安全防护及标准等。