薄膜物理与技术--聚文网

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内容简介

《薄膜物理与技术》主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识，重点讲述了薄膜生长基础，薄膜生长技术，包括蒸发、溅射、离子镀、化学气相沉积、原子层沉积、化学溶液沉积以及纳米薄膜组装等，并对薄膜的基本性质及与光、电相关的一些薄膜材料进行了介绍。

本书可作为高等学校材料科学与工程、电子科学与技术、微电子、光学等专业的本科生或研究生的教材或教学参考书，也可供从事相关行业的工程技术人员参考使用。

作者简介

沈杰，复旦大学材料科学系，副教授。学习 1987.9–1991.7 复旦大学物理电子学（本科） 1994.7–1998.1 复旦大学电子、离子与真空物理（硕士研究生） 2001.9–2005.1 复旦大学物理电子学（博士研究生）工作 1991.8-2002.10 复旦大学助教，讲师 2002.11-2003.11 新加坡国立大学研究员 2003.12-至今复旦大学副教授常年从事薄膜材料与薄膜技术的研究，研究领域涉及高温超导薄膜、透明导电薄膜、光催化薄膜、低介电常数薄膜、钢板真空镀膜、光子晶体等，熟悉了解各种薄膜技术、薄膜材料与器件，承担过973、863、国家自然科学基金、上海市科委、广东省教育部科技部产学研等研究项目，以及宝钢、长虹等多个企业合作项目，发表SCI、EI论文多篇。承担本科生必修课“薄膜技术”的教学二十多年，教学经验丰富，效果良好。

第1章薄膜生长基础
1.1 概述
1.2 薄膜生长过程
1.2.1 薄膜生长的类型
1.2.2 薄膜生长的三种机制
1.3 薄膜生长理论
1.3.1 热力学界面能理论
1.3.2 原子聚集理论
1.4 薄膜结构
1.4.1 薄膜结构与缺陷
1.4.2 结构区域模型
思考题
第2章蒸发镀膜
2.1 蒸发原理
2.1.1 蒸发特性
2.1.2 合金与化合物的蒸发
2.1.3 薄膜厚度的均匀性
2.1.4 蒸发源与电阻蒸发
……

薄膜物理与技术

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