微加工技术工艺原理与实验--聚文网

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内容简介

本书共分6篇12章，系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合，涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验，器件制造工艺实验和器件特性测量实验。
本书对初步涉足这一领域的高等院校本科生、研究生以及相关科研人员、工程技术人员具有很好的参考价值，可作为高等院校微电子科学与技术、光电信息科学与工程、电子科学与技术、电子信息工程等专业本科生或研究生的相关课程教材。

作者简介

"陈军，中山大学教授、博士生生导师。长期从事真空微纳电子器件研究工作，讲授“微纳电子器件”“数字电路与逻辑设计”等课程。发表SCI期刊论文250余篇，编著教材一部。主持完成国家自然科学基金委杰出青年基金、国家重点研发计划项目等科研项目。获国家自然科学奖二等奖、全国优秀博士学位论文等奖励。黄展云，中山大学实验师。长期从事微电子工艺实验室管理和微加工实验教学工作，讲授“微加工工艺实验”“光电器件集成技术实验”等课程。发表教学论文2篇，出版半导体工艺与测试方面教材1部。张宇，中山大学教授、博士生导师。长期从事微纳加工、微纳电子器件和集成电路装备关键部件等的教学和科研工作，讲授“微加工技术”“微纳电子器件与集成技术”等课程，获校级课程思政示范课和教学成果二等奖。主持国家自然基金面上/青年项目4项，作为学术骨干参与国家重大研究计划项目4项。发表SCI 论文60余篇，申请专利10项，授权6项。卢星，中山大学副教授、硕士生导师。长期从事半导体材料与器件的教学和科研工作，讲授“微纳电子器件”“微加工工艺实验”“半导体特性表征方法与技术”等课程。发表SCI源刊论文60余篇，主持或参与国家、省部级科研项目10余项，出版化合物半导体方面的全英文著作1部。王冰，中山大学副教授、博士生导师。长期从事化合物半导体异质外延生长和光电混合集成技术研究，承担本科生的“光电器件集成技术实验”课程教学，积累了丰富的半导体光电器件制造和测试的实验授课经验。近5年发表SCI源刊论文10多篇，承担国家重点研发计划任务2项。陈晖，博士，中山大学实验师。长期从事集成电路制造和光电子芯片制造的教学和科研工作，讲授“集成电路工艺实验”“微加工工艺实验”等课程。合著半导体工艺方面的教材1部。"

第一篇导论
第1章集成电路与微纳加工技术
1.1引言
1.2集成电路产业发展简史
1.3集成电路制造的发展路线
1.4集成电路制造的基本流程
第2章微加工工艺环境介绍
2.1微加工工艺环境的建设
2.1.1洁净室简介…
2.1.2微电子工艺洁净实验室建设
2.2实验室安全与注意事项
扩展阅读：《洁净室消防安全工作管理条例》
第二篇单项工艺1：光刻
第3章光刻技术
3.1光刻技术介绍
3.2光学光刻技术
3.2.1光学曝光原理与方式
3.2.2光刻的关键指标
……

微加工技术工艺原理与实验

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