薄膜陶瓷基板工厂设计标准 GB/T 51453-2024

字数: 51000
装帧: 平装
出版社: 中国计划出版社
作者: 中华人民共和国工业和信息化部
出版日期: 2024-04-01
商品条码: GB/T 51453-2024
版次: 1
开本: 32开
页数: 68
出版年份: 2024

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内容简介

为规范薄膜陶瓷基板工厂工程建设中设计内容、设计深度和厂房设施要求，做到技术优选、安全适用、经济合理、环保节能，制定本标准。本标准适用于新建、扩建和改建采用薄膜工艺制造的陶瓷基板工厂工程设计。薄膜陶瓷基板工厂设计除应执行本标准外，尚应符合国家现行标准的有关规定。本标准共分10章和1个附录，主要内容包括：总则，术语，总体设计，工艺设计，基本工艺，工艺设备配置，建筑与结构，公用设施，电气设计，环境保护、节能与安全设施等。

1总则
2术语
3总体设计
3.1一般规定
3.2厂址选择
3.3总图规划及布局
4工艺设计
4.1工艺流程设计
4.2工艺区划
5基本工艺
5.1一般规定
5.2基板准备
5.3镀膜工艺
5.4光刻工艺
5.5电镀工艺
5.6刻蚀工艺
5.7激光调阻工艺
5.8激光打孔工艺
5.9划片工艺
5.10测试工艺
6工艺设备配置
6.1一般规定
6.2基板准备工艺设备
6.3镀膜工艺设备
……