薄膜技术与薄膜材料

字数: 832000
装帧: 平装
出版社: 清华大学出版社
出版日期: 2011-12-01
商品条码: 9787302274834
版次: 1
开本: 16开
页数: 548
出版年份: 2011

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内容简介

薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面，知识全面，脉络清晰。全书共17章，文字通俗易懂，并配有大量图解，每章后面附有习题，有利于对基本概念和基础知识的理解、掌握与运用。本书可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材，对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员，也具有极为难得的参考价值。

第1章真空技术基础
1.1 真空的基本知识
1.1.1 真空定义
1.1.2 真空度量单位
1.1.3 真空区域划分
1.1.4 气体与蒸气
1.2 真空的表征
1.2.1 气体分子运动论
1.2.2 分子运动的平均自由程
1.2.3 气流与流导
1.3 气体分子与表面的相互作用
1.3.1 碰撞于表面的分子数
1.3.2 分子从表面的反射
1.3.3 蒸发速率
1.3.4 真空在薄膜制备中的作用
习题
第2章真空泵与真空规
2.1 真空泵
2.1.1 油封机械泵
2.1.2 扩散泵
……