纳米多孔GaN基薄膜的制备及其特性研究

本书主要以几种新型的纳米多孔GaN基薄膜为研究对象，系统地介绍了其纳米孔结构的制备及特性研究，为其在光解水、发光器件、柔性器件及可穿戴设备等领域的应用奠定了理论和实验基础。本书所介绍的纳米多孔GaN基薄膜材料与器件的制备、测试和表征方法可为从事宽禁带半导体的研究人员提供参考，也可作为高等院校微电子专业研究生学习薄膜生长、微纳湿法刻蚀工艺、性能测试和表征的参考资料。

“博士后文库”序言
前言
第1章绪论1
1.1GaN的材料特性1
1.2GaN材料的应用背景3
1.3GaN单晶薄膜的研究现状6
1.4纳米多孔GaN单晶薄膜的研究现状7
第2章实验设备和测试方法11
2.1实验设备11
2.1.1有机金属化学气相沉积系统11
2.1.2电化学刻蚀系统12
2.2测试方法13
2.2.1表面形貌测试方法13
2.2.2晶体结构测试方法15
2.2.3物质成分测试方法16
2.2.4光学特性测试方法18
2.2.5力学特性测试方法21
2.2.6电学特性测试方法22
2.2.7其他测试方法25
第3章GaN薄膜在预刻蚀阶段的电化学刻蚀机理27
3.1实验部分28
3.2结果和讨论28
3.3本章小结34
第4章纳米多孔GaN薄膜的光催化特性35
4.1实验部分35
4.1.1纳米多孔GaN薄膜的制备35
4.1.2光催化测试36
4.2结果和讨论36
4.2.1纳米多孔GaN薄膜的表征36
4.2.2纳米多孔GaN薄膜的光催化活性38
4.2.3纳米多孔GaN薄膜和多孔Si的光催化活性的对比40
4.3本章小结43
第5章纳米多孔GaN薄膜的光电化学特性44
5.1实验部分44
5.1.1GaN单晶薄膜的制备44
5.1.2纳米多孔GaN薄膜的制备44
5.1.3测试和表征45
5.2结果和讨论45
5.3本章小结52
第6章纳米多孔GaN基MQW的制备及其光电化学特性53
6.1实验部分53
6.2结果和讨论54
6.2.1纳米多孔GaN基MQW的制备和表征54
6.2.2剥离的纳米多孔GaN基MQW的制备和表征58
6.2.3纳米多孔GaN基MQW的光电化学特性61
6.3本章小结64
第7章纳米多孔GaN基LED的制备及特性66
7.1实验部分66
7.2结果和讨论67
7.3本章小结71
第8章具有分布布拉格反射镜的GaN基LED制备及特性72
8.1实验部分73
8.1.1GaN薄膜的外延生长73
8.1.2片尺寸纳米多孔GaNDBR的制备73
8.1.3LED结构的外延生长73
8.1.4测试与表征74
8.2结果和讨论74
8.3本章小结81
第9章具有GaN/纳米空腔的InGaN基LED的制备及特性82
9.1实验部分82
9.1.1GaN薄膜的外延生长82
9.1.2片尺寸多层纳米多孔GaN结构的制备83
9.1.3LED结构的外延生长83
9.1.4测试与表征84
9.2结果和讨论84
9.3本章小结89
第10章具有中孔GaN分布布拉格反射镜的InGaN/GaN光阳极的制备及其光电化学特性90
10.1实验部分91
10.1.1样品制备91
10.1.2测试和表征91
10.2结果和讨论92
10.3本章小结99
第11章自支撑纳米多孔InGaN/GaNMQW的制备及发光特性100
11.1实验部分101
11.1.1薄膜的外延生长101
11.1.2薄膜的光电化学刻蚀101
11.1.3测试和表征101
11.2结果和讨论101
11.3本章小结107
第12章具有纳米多孔GaN反射镜的多孔InGaN/GaNMQW的光解水特性108
12.1实验部分109
12.1.1薄膜外延生长109
12.1.2薄膜的电化学刻蚀109
12.1.3测试和表征110
12.2结果和讨论110
12.3本章小结119
参考文献120
编后记143
彩图