RF MEMS器件与技术

RF MEMS（射频微机电系统）是MEMS（Micro Electromechanical System,微机电系统）技术的重要应用领域之一。本书内容覆盖了RF MEMS的理论、设计和大部分RF MEMS器件，RF MEMS技术可望实现和MMIC的高度集成，使制作集信息的采集、处理、传输、处理和执行于一体的系统集成芯片（SOC）成为可能。本书适合高等院校微电子技术、微波技术、集成电路专业、电子科学与技术、电子信息专业、微机电系统（MEMS）技术领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读使用。

第1章绪论
1.1MEMS基本特点
1.2MEMS在各学科领域的应用研究
1.3MEMS研究内容
1.4MEMS发展简史
1.5工艺的发展
第2章微机电系统力学基础
2.1MEMS尺寸效应
2.2微机械的弹性梁力学问题
2.3流体力学
2.4黏附力
2.5静电力
参考文献
第3章MEMS工艺
3.1光刻
3.2淀积
3.3腐蚀
3.4键合
3.5MEMS工艺的发展趋势
第4章RFMEMS器件设计微波基础
4.1微带传输线
4.2慢波共面波导传输线
4.3两端口微波网络
4.4微波滤波网络
4.5微尺度下微机械天线的电磁辐射和耦合理论
4.6分形结构原理
4.7分形天线的形式结构
4.8分形自相似滤波原理
4.9小结
参考文献
第5章RFMEMS可重构天线
5.1概述
5.2典型的微波硅基MEMS可重构天线设计
5.3硅基可重构天线设计
5.4掩膜版的制作
5.5天线的测试结果
5.6典型的硅基MEMS可重构分形天线设计
5.7Koch，Single-ArmSpiral，Double-Ring分形天线的设计
5.8小结
参考文献
第6章RFMEMS可重构滤波器
6.1概述
6.2分布参数法设计微波滤波器
6.3传输线理论基础
6.4带通滤波器的设计方法
6.5典型的RFMEMS可调滤波器
6.6典型的电磁带隙技术滤波器
6.7基于MEMS技术的EGs结构用于可重构低通滤波器的设计举例
6.8MEMS滤波器的未来发展
参考文献
第7章RFMEMS可重构匹配网络
7.1概述
7.2RFMEMS可重构匹配网络设计方法
7.3RFMEMS可重构匹配网络上的电流
7.4RFMEMS可重构匹配网络举例
参考文献
第8章RFMEMS谐振器
8.1概述
8.2RFMEMS谐振器基本知识
8.3RFMEMS谐振器工艺
8.4RFMEMS谐振器研究
8.5结论
参考文献
第9章MEMS模拟与仿真
9.1有限元分析介绍
9.2有限元法分析计算的思路和做法
9.3COMSOLMultiphysics软件
9.4COMSOL二次开发工具
9.5其他微机电模拟仿真软件
9.6微机电模块
第10章微机电系统材料
10.1硅
10.2砷化镓
10.3MEMS中的陶瓷材料
10.4形状记忆合金材料
10.5MEMS中的磁致伸缩材料
10.6MEMS中的流变体
第11章MEMS的发展趋势
11.1可调谐的网络及其滤波器
11.2开关
11.3变容器和电感器
11.4电路和移相器
11.5小结
11.6后续
参考文献