精密运动系统迭代前馈控制方法及应用

字数: 182000
装帧: 平装
出版社: 哈尔滨工业大学出版社
作者: 宋法质,刘杨
出版日期: 2022-09-01
商品条码: 9787560397139
版次: 1
开本: 16开
页数: 160
出版年份: 2022

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内容简介

反馈控制方法受限于机械系统谐振频率和伯德(Bod)积分定理，闭环带宽不可能无限提高，控制精度有限，难以满足现代精密运动系统高产量、高品质的性能需求。前馈控制在精密运动平台（如光刻机硅片台、工业打印机等）加速运动过程中，可以大幅诚少由参考轨迹引起的误差，缩短调整时间，从而增加系统产量：在匀速生产过程中，可以有效补偿外部扰动引起的误差，提高控制精度，保证产品品质。本书针对精密运动系统中存在的重复，非重复运动过程，引入迭代学习思想，分别研究了非固定结构、固定结构前馈控制器的设计方法，对提高精密运动系统的伺服性能有着重要意义。

第1章精密运动平台及其控制方法概述
1.1概述
1.2精密运动平台的发展需求与趋势
1.3精密运动平台的控制需求
1.4精密运动平台的控制方法
1.5前馈控制方法与应用
1.6本书主要内容
第2章迭代学习控制器的频域工程校正方法
2.2迭代学习控制基础
2.3迭代学习控制器的频域校正方法
2.4迭代学习控制器的任务适应性
2.5仿真与实验
第3章基于投影的数据驱动迭代前馈控制
3.1概述
3.2前馈控制器参数化
3.3数据驱动迭代前馈整定方法
……