晶体硅太阳电池制造工艺原理 第2版

本书系统介绍了晶体硅太阳电池制造工艺原理，主要内容包括：绪论，太阳能用多晶硅生产工艺，太阳电池用硅晶体生长工艺，硅片多线切割及测试，硅片的清洗和制绒，掺杂制备pn结，硅片表面和边缘刻蚀，减反射膜/钝化膜制备与激光消融开孔，电极的丝网印刷、烧结和载流子注入退火，高转换效率晶体硅太阳电池，太阳电池组件，太阳电池及其组件的测试。本书附录介绍了太阳电池的光致衰减现象及桶理论，以及双面太阳电池/组件的光电性能测试。

第1章 绪论
1. 1 光伏效应
1. 2 阳光资源
1. 3 太阳能光伏发电系统
1. 3. 1 太阳能光伏发电系统的结构
1. 3. 2 分布式光伏发电系统
1. 3. 3 微电网系统
1. 3. 4 大型光伏电站
1. 4 晶体硅太阳电池和组件的制造
参考文献
第2章 太阳能用多晶硅生产工艺
2. 1 西门子法
2. 2 硅烷法
2. 3 流化床法
2. 4 冶金法
参考文献
第3章 太阳电池用硅晶体生长工艺
3. 1 直拉单晶硅
3. 1. 1 直拉单晶炉
3. 1. 2 直拉单晶工艺
3. 1. 3 直拉单晶的影响因素
3. 1. 4 杂质的引入、分布和掺杂
3. 2 铸造多晶硅
3. 2. 1 多晶硅铸造技术
3. 2. 2 定向凝固多晶硅铸锭炉
3. 2. 3 多晶硅铸锭炉热场数学模型
3. 2. 4 多晶硅铸造生长工艺
3. 2. 5 铸造多晶硅生长的影响因素
3. 2. 6 准单晶硅和高效多晶硅
3. 2. 7 多晶硅铸锭用坩埚
参考文献
第4章 硅片多线切割及测试
4. 1 硅片多线切割
4. 2 硅晶体性能及测试
4. 2. 1 涡流法电阻率检测
4. 2. 2 硅块少子寿命测试
4. 2. 3 硅块红外探伤
4. 2. 4 无接触硅片厚度测试
4. 2. 5 硅片分选
4. 2. 6 晶体硅中的氧
4. 2. 7 晶体硅中的碳
4. 2. 8 晶体硅中的金属杂质及影响
4. 2. 9 位错和缺陷
参考文献
第5章 硅片的清洗和制绒
5. 1 硅片的选择
5. 2 硅片清洗
5. 2. 1 硅片表面的沾污源
5. 2. 2 化学清洗原理
5. 2. 3 物理清洗原理
5. 2. 4 硅片及器具的清洗
5. 3 硅片腐蚀减薄
5. 4 硅片绒面制备
5. 4. 1 碱腐蚀单晶硅片制绒
5. 4. 2 酸腐蚀多晶硅片制绒
5. 4. 3 硅片制绒质量检验
5. 5 硅片制绒新技术
参考文献
第6章 掺杂制备pn结
6. 1 扩散法掺杂制备pn结
6. 1. 1 扩散现象
6. 1. 2 扩散层杂质浓度分布
6. 1. 3 两步扩散法制结原理
6. 1. 4 固-固扩散制结原理
6. 1. 5 扩散制结的质量参数
6. 1. 6 扩散制结条件的选择
6. 1. 7 p型硅片的磷扩散制结工艺
6. 1. 8 扩散制结的质量检测
6. 2 离子注入掺杂制结
6. 2. 1 离子注入掺杂的原理
6. 2. 2 注入离子的离子分布
6. 2. 3 注入离子的离子阻滞
6. 2. 4 离子注入的沟道效应
6. 2. 5 离子注入损伤与退火
6. 2. 6 离子注入掺杂制结工艺
参考文献
第7章 硅片表面和边缘刻蚀
7. 1 干法刻蚀边缘扩散层
7. 1. 1 等离子体刻蚀
7. 1. 2 激光边缘刻蚀隔离
7. 2 湿法刻蚀表面磷硅玻璃
7. 3 湿法刻蚀扩散层
7. 3. 1 湿法刻蚀扩散层原理
7. 3. 2 硅片漂浮方式湿法刻蚀
7. 3. 3 滚轮携液方式的湿法刻蚀
7. 4 硅片周边表面刻蚀后的质量检查
参考文献
第8章 减反射膜/钝化膜制备与激光消融开孔
8. 1 减反射膜的减反射原理
8. 2 氮化硅减反射薄膜
8. 2. 1 氮化硅减反射薄膜沉积方法
8. 2. 2 氮化硅膜的热处理
8. 2. 3 双层减反射膜
8. 3 太阳电池的表面钝化技术
8. 4 Al2O3减反射/钝化膜
8. 5 激光消融开孔
参考文献
第9章 电极的丝网印刷、烧结和载流子注入退火
9. 1 电极的丝网印刷
9. 1. 1 丝网印刷金属浆料的作用
9. 1. 2 丝网印刷用材料、工具和设备
9. 1. 3 电极的丝网印刷工艺
9. 1. 4 金属栅线电极的高宽比及其测试方法
9. 1. 5 PERC太阳电池的电极设计
9. 1. 6 多主栅（MBB）太阳电池的主栅电极设计及其银浆用量
9. 1. 7 无网结网版丝印技术
9. 2 电极浆料烧结
9. 2. 1 电极浆料烧结机理
9. 2. 2 电极浆料烧结设备及工艺
9. 2. 3 电极浆料烧结质量要求
9. 3 恢复太阳电池效率的载流子注入退火
9. 4 太阳电池质量检测
参考文献
第10章 高转换效率晶体硅太阳电池
10. 1 硅基异质结（SHJ）太阳电池
10. 2 选择性发射极太阳电池
10. 3 浅结密栅太阳电池
10. 4 钝化发射极和背接触（PERC）太阳电池
10. 5 PERL和PERT结构太阳电池
10. 6 黑硅太阳电池
10. 7 叉指式背接触(IBC)太阳电池
10. 8 薄氧化层钝化接触（TOP-Con）太阳电池
10. 9 金属穿孔卷绕（MWT）太阳电池
10. 10 双面太阳电池及组件
10. 10. 1 PERC双面太阳电池及组件
10. 10. 2 PERT双面太阳电池及组件
参考文献
第11章 太阳电池组件
11. 1 太阳电池的串联和并联
11. 2 太阳电池组件的结构
11. 3 太阳电池组件的封装材料
11. 4 太阳电池组件的封装工艺
11. 5 太阳电池组件的电位诱发衰减（PID）效应
11. 6 半片太阳电池组件
11. 7 叠瓦太阳电池组件
11. 8 双面玻璃封装太阳电池组件
11. 9 金属背板太阳电池组件
11. 10 特种太阳电池组件
11. 11 太阳电池组件的性能测试
参考文献
第12章 太阳电池及其组件的测试
12. 1 太阳辐射的基本特性
12. 2 太阳模拟器
12. 3 太阳电池测试
12. 3. 1 光电性能测试
12. 3. 2 其他性能测试
12. 4 太阳电池组件测试
12. 4. 1 太阳电池组件的光电性能测试
12. 4. 2 太阳电池组件的设计鉴定和定型
12. 4. 3 太阳电池组件的安全鉴定
12. 4. 4 太阳电池组件的其他试验
12. 4. 5 太阳电池组件的可靠性测试
12. 5 太阳电池组件的室外测试
12. 6 太阳电池和组件的诊断测试
12. 6. 1 电致发光(EL)测试
12. 6. 2 光诱导电流(LBIC)测试
12. 6. 3 其他诊断测试方法
12. 6. 4 诊断测试性能分析举例
12. 7 太阳电池和组件的认证
参考文献
附录A 太阳电池的光致衰减现象及桶理论
附录B 双面太阳电池/组件的光电性能测试