钼靶材及其薄膜制备技术

针对大尺寸钼靶材制备难度大、致密度和晶粒尺寸的均匀性难以控制等技术难点，本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手，研究了原材料及还原工艺对粉性能的影响和烧结的热变形行为，分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响，确定了钼靶材的制备工艺，实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化，探究其对金属钳薄膜结构和光电性能的影响，从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。 本书可供从事有色金属、难熔金属材料、光电材料等领域的科研工作者、工程技术人员、大学教师及研究生参考。

前言
第1章 绪论
1.1 金属钼的基本性质
1.1.1 钼的物理性质
1.1.2 钼的化学性质
1.2 钼的化合物及其性质
1.2.1 钼的氧化物
1.2.2 钼酸及钼酸盐
1.2.3 钼蓝
1.2.4 钼的硫化物、硒化物和碲化物
1.2.5 钼的卤化物
1.3 钼金属材料的应用
1.3.1 钢铁工业
1.3.2 化工领域
1.3.3 航空航天、军事工业
1.3.4 核工业
1.3.5 玻璃工业
1.3.6 医学领域
1.3.7 农业领域
1.3.8 电子行业
1.4 钼粉制备技术
1.5 纯钼热变形行为
1.6 CuIn(Ga)Se(CIGS)薄膜太阳能电池的结构
1.7 薄膜的制备方法
1.7.1 真空蒸发法
1.7.2 激光脉冲沉积法
1.7.3 溶液镀膜法
1.7.4 化学气相沉积法
1.7.5 磁控溅射法
1.8 钼靶材的影响因素
1.8.1 纯度
1.8.2 致密度
1.8.3 结构的均匀性
1.8.4 结晶取向
1.8.5 晶粒尺寸
1.9 靶材制备工艺与薄膜性能之间关系
1.10 钼薄膜的研究现状
1.10.1 溅射气压和功率
1.10.2 溅射方式
1.10.3 热处理
1.10.4 衬底材料
1.10.5 单层、双层和多层钼薄膜的制备
参考文献
第2章 实验材料及研究方法
2.1 钼粉制备
2.1.1 试验材料
2.1.2 钼酸铵焙解试验
2.1.3 钼粉制备工艺
2.1.4 粉末检测方法
2.2 烧结钼的制备
2.3 热变形实验方案
2.3.1 单道次热压缩试验方案
2.3.2 双道次热压缩试验方案
2.4 微观组织表征及性能检测
2.4.1 金相组织分析
2.4.2 背散射电子衍射分析
2.4.3 透射电子显微分析
2.4.4 X射线光电子能谱分析
2.4.5 显微硬度测定
2.4.6 密度测定
2.5 钼薄膜的表征与测试
2.5.1 微观组织分析
2.5.2 光电性能和黏结性测试
参考文献
第3章 钼粉制备研究
3.1 钼酸铵差热实验结果及分析
3.1.1 钼酸铵的形貌及物相组成
3.1.2 钼酸铵差热实验及结果分析
3.2 一步氢还原实验结果及分析
3.2.1 二氧化钼形貌及粒度
3.2.2 实验结果分析
3.3 二步氢还原实验结果及分析
3.3.1 钼粉形貌及性能
3.3.2 实验结果分析
3.4 筛分对钼粉质量的影响
3.4.1 筛分时间对钼粉物理性能的影响
3.4.2 筛分前后钼粉的微观形貌
参考文献
第4章 纯钼板材单道次热变形行为
4.1 纯钼单道次热变形行为分析
4.2 变形参数对流变应力的影响
4.3 本构方程的建立
4.3.1 热变形激活能的确定
4.3.2 流变应力与Z参数关系求解
4.3.3 本构方程的建立
4.4 热变形加工硬化分析
4.5 热变形后纯钼的组织及性能
4.5.1 热变形后纯钼的组织
4.5.2 纯钼热变形前后的显微硬度
4.6 动态再结晶应变模型
4.6.1 动态再结晶临界应变
4.6.2 动态再结晶临界应变模型
4.7 热加工图
4.7.1 基于DMM理论的热加工图理论
4.7.2 纯钼板坯热加工图
参考文献
第5章 纯钼板坯双道次热变形行为
5.1 纯钼双道次热变形应力应变曲线分析
5.1.1 应变速率及变形温度对应力应变曲线的影响
5.1.2 变形量对应力应变曲线的影响
5.1.3 停留时间对应力应变曲线的影响
5.2 静态再结晶软化比计算
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