高温SiC MEMS传感器的热电特性

本书主要介绍了碳化硅（SiC）传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiCMEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的近期新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。本书可作为高等院校微电子技术专业本科生及相关专业研究生的参考书，也可作为相关领域工程技术人员的参考资料。

第1章SiC及热电特性简介
1.1背景
1.2SiC
1.3SiC生长
1.4热电特性
1.5高温SiCMEMS传感器
参考文献
第2章SiC热电特性基础
2.1热阻效应
2.1.1半导体材料的物理参数与基本概念
2.1.2单晶碳化硅
2.1.3多晶破化硅
2.1.4非晶碳化硅
2.2热电子效应
2.3热电容效应
2.4热电效应
2.5高温下SiC热电特性的研究现状
2.5.1热电效应的试验装置
2.5.2单层SiC的热阻效应
2.5.3多层SiC的热电效应
2.64H-SiCp-n结
2.7高温下其他热电特性
2.7.1热电效应
2.7.2热电容效应
参考文献
第3章高温SiC传感器的理想性能
3.1灵敏度
3.2线性度
3.3热响应时间
3.4低功耗
3.5稳定性和其他性能
参考文献
第4章SiCMEMS传感器的制备
4.1生长与掺杂
4.1.1SiC的生长
4.1.2SiC掺杂
4.2SiC刻蚀
4.2.1电化学刻蚀
4.2.2化学刻蚀
4.2.3干法刻蚀或反应离子刻蚀
4.3SiC的欧姆接触和肖特基接触
4.3.1欧姆接触
4.3.2肖特基接触
4.4SiCMEMS传感器的制造工艺
4.4.1表面微加工工艺
4.4.2体微加工工艺
4.4.3集成冷却系统的MEMS器件的制备
参考文献
第5章设计和工艺对SiC热器件性能的影响
5.1衬底影响
5.2掺杂影响
5.3表面形貌
5.4沉积温度
5.5几何与尺寸
参考文献
第6章SiC热电特性的应用
6.1温度传感器、温度控制/补偿与热测量
6.1.1热电阻
6.1.2p～n结温度传感器
6.2热阻传感器
6.2.1热线及热膜式流量传感器
6.2.2量热式流量传感器
6.2.3飞行时间流量传感器
6.3对流加速度计与陀螺仪
6.3.1对流加速度计
6.3.2对流陀螺仪
6.4其他应用
6.4.1易燃气体传感器
6.4.2集成加热、感知和微流控冷却的SiCMEMS
参考文献
第7章SiC热电传感器展望
7.1绝缘体上SiC薄膜
7.2SiC热电器件与其他材料的集成
7.3SiC热驱动器
7.4SiC传感器的发展与挑战
参考文献