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微纳加工基础技术与方法

微纳加工基础技术与方法

  • 字数: 240000
  • 装帧: 平装
  • 出版社: 冶金工业出版社
  • 出版日期: 2021-09-01
  • 商品条码: 9787502488826
  • 版次: 1
  • 开本: 16开
  • 页数: 196
  • 出版年份: 2021
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精选
内容简介
本书系统介绍了各种精密加工方法,将超精密微加工法和表面加工方法的基础原理和技术做了融合。全书共分为十一章,主要介绍了激光束加工方法、电子束加工方法、离子束加工方法、其他粒子束加工方法、化学刻蚀法、放电加工等基本方法;并介绍了精密加工所涉及的主要表面处理技术,包括表面处理沉淀法、离子束表面处理法、溅射法、化学气相沉积法和精密镀等。本书对传统的加工方法进行了精选,去掉了繁冗的细节,保留了必要的理论基础,并增加了微纳加工技术新工艺及其发展趋势。本书可作为机械制造及其自动化专业的研究生和本科生教材,同时也可供从事机械制造精密加工的工作者和科研人员阅读。
目录
1绪论
1.1微加工技术的发展进程
1.2发展现状
1.3技术内涵
1.3.1加工范畴
1.3.2加工方法
1.4微纳加工技术
1.4.1微纳加工技术现状
1.4.2微纳加工技术简介
2激光束加工方法
2.1激光束加工常用光源
2.2加工用激光器的种类和光束聚光
2.2.1振荡器
2.2.2YAG激光器
2.2.3CO2激光器
2.2.4光学谐振腔、横模、聚旋光性
2.2.5高斯形分布激光束的聚光传播特性
2.2.6热加工
2.2.7冷加工
2.3YAG激光加工
2.3.1YAG激光器
……

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