金刚石膜粒子探测器材料--聚文网

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内容简介

本书系统介绍了金刚石膜材料的物理性能、制备工艺技术以及材料与光电探测器件的关系和原理。其物理性能包括膜的结构、表面、界面及掺杂对热和光电性能的影响；制备工艺技术包括不同材质的衬底处理，详尽地描述了微波等离子体和热丝辅助化学气相沉积法制备金刚石膜的工艺及各种检测分析技术；从半导体器件物理原理出发阐述了金刚石膜粒子探测器的性能及与材料间内在联系。详尽报道了国内外该领域的研究动态。
本书可供从事金刚石膜研究和生产的科研人员、工程技术人员和研究生阅读参考，也可作为光电子材料与元器件等有关专业的教学参考书。

丛书序
前言

第一章绪论
1.1 金刚石膜的结构
1.2 金刚石膜的优异特性
1.3 化学气相沉积法金刚石膜的制备技术
1.4 金刚石膜在光电领域中的主要应用
参考文献

第二章自支撑金刚石膜的制备
2.1 实验设备及原理介绍
2.2 金刚石膜的制备工艺研究
2.3 自支撑金刚石薄膜的性能
参考文献

第三章金刚石膜表面导电性能研究
3.1 引言
3.2 实验过程
3.3 自支撑金刚石膜的导电性能
3.4 本章小结
参考文献

第四章金刚石膜肖特基场效应晶体管
4.1 引言
4.2 金刚石与金属电极的接触特性
4.3 MESFET器件制备及性能研究
4.4 本章小结
参考文献

第五章金刚石膜紫外光探测器
5.1 引言
5.2 ZnO材料概述
5.3 ZnO制备及测试
5.4 实验结果与讨论
5.5 ZnO/金刚石结构紫外光探测器的性能研究
5.6 本章小结
参考文献

第六章金刚石厚膜生长及其在微电子器件中的热沉应用
6.1 引言
6.2 氧化铝衬底的碳离子预注入
6.3 氧化铝上金刚石膜的成核分析
6.4 金刚石的厚膜生长及应力分析
6.5 金刚石薄膜/氧化铝复合材料性质研究
参考文献

第七章纳米金刚石膜X射线探测器
7.1 纳米金刚石膜的制备和性能表征
7.2 纳米金刚石膜粒子探测器工艺及性能表征
7.3 氢刻蚀对纳米金刚石膜电学和光学性能的影响
7.4 强磁场下纳米金刚石膜生长及性能表征
参考文献

第八章金刚石膜α粒子探测器
8.1 CVD金刚石膜粒子探测器的研制
8.2 CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室研制
参考文献
……

第九章粒子探测器读出电路电子系统
第十章金刚石膜生物传感器及在其它光电声等领域应用

金刚石膜粒子探测器材料

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