微系统--聚文网

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内容简介

微系统是融合微电子、微光子、MEMS、架构和算法五大基础要素，采用系统设计的思想和方法，将传感、通信、处理、执行和微能源等五大功能单元，以微纳制造及工艺为基础的系统级封装集成在一起的具有多种功能的微装置。当前，微系统技术正在向从平面集成到三维集成、从微机电/微光电集成到异质混合集成、从结构/电气一体化集成到多功能一体化集成等方向发展，并正与生命科学、量子技术、微纳前沿交织融合，成为聚集前沿科技创新发展的重要领域。本书系统地介绍了微系统基本概念、发展背景及主要分类，重点介绍了电子元器件技术、集成技术、算法与架构、热管理技术等微系统关键技术，全面总结了国内外微系统的近期新进展情况，分析了微系统的典型应用。

第一章微系统概述1
一、认识微系统2
(一)什么是系统？2
(二)什么是微系统？3
二、微系统的发展背景和需求8
(一)发展背景8
(二)发展需求9
三、微系统的分类10
(一)信息处理微系统11
(二)导航微系统11
(三)射频微系统11
(四)光电徵系统11
第二章微系统关键技术13
一、微系统相关电子元器件技术16
(一)微电子技术16
(二)光电子器件技术24
(三)微机电系统(MEMS)器件技术26
(四)微能源器件技术28
二、集成技术29
三、算法与架构30
四、热管理技术31
五、微系统技术发展面临的挑战33
……

微系统

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