微传感器与接口集成电路设计

本书系统介绍了微传感器及其接口集成电路的设计。首先，以热对流式加速度计、电容式加速度计、微机械陀螺仪、电容式麦克风、压电式超声换能器等常见微传感器为例，介绍了微传感器的基本工作原理以及国内外研究现状。然后，介绍了将传感物理量转换为电信号的读出电路，将所获得的电信号进行放大、去噪、滤波等处理的信号1周理电路，将模拟信号转换成数字信号的模数转换电路，以及新型传感器的自供能技术和电路等。最后还介绍了微传感器及其接口集成电路的新型封装技术。本书适合作为电子等相关专业高年级本科生和研究生的教材，也可作为微传感器和集成电路设计研究人员的参考书。

序
前言
第1章绪论1
1.1微传感器2
1.2微传感器的接口集成电路3
参考文献4
第2章微传感器5
2.1热对流式MEMS加速度计5
2.1.1基本工作原理5
2.1.2国内外研究现状6
2.2MEMS惯性传感器9
2.2.1电容式加速度计9
2.2.2微机械陀螺仪11
2.3电容式MEMS麦克风13
2.3.1基本工作原理13
2.3.2国内外研究现状13
2.4压电式微机械超声换能器15
2.4.1基本工作原理15
2.4.2国内外研究现状16
参考文献17
第3章微传感器的读出电路19
3.1热对流式MEMS加速度计读出电路19
3.2MEMS惯性传感器读出电路22
3.3电容式MEMS麦克风读出电路24
3.4压电式微机械超声换能器读出电路27
参考文献31
第4章信号调理电路33
4.1放大电路33
4.1.1仪用运算放大器34
4.1.2噪声源36
4.1.3低噪声放大器设计37
4.1.4降低失调和低频噪声的技术40
4.2滤波电路45
4.2.1滤波器的频率特性和函数逼近45
4.2.2连续时间滤波器48
4.2.3开关电容滤波器51
4.3模数转换电路55
4.3.1模数转换电路基本原理55
4.3.2模数转换电路主要性能指标56
4.3.3常用的模数转换器类型60
4.3.4逐次逼近型模数转换电路典型结构64
4.3.5低功耗逐次逼近型模数转换器67
参考文献73
第5章自供能技术及其电路设计75
5.1自供能技术76
5.1.1能量采集技术76
5.1.2无线能量传输技术80
5.2整流电路83
5.2.1简单整流电路84
5.2.2极低输入电压整流电路87
5.3稳压电路92
5.3.1模拟线性稳压电路92
5.3.2数字线性稳压电路99
5.3.3开关稳压电路99
5.3.4开关稳压电路和线性稳压电路的级联103
参考文献104
第6章微传感器封装106
6.1SoC和SiP106
6.2三维封装技术112
6.2.1晶圆减薄技术112
6.2.2硅通孔技术115
6.2.3微凸点键合技术117
6.3MEMS封装118
6.3.1MEMS封装的特殊性118
6.3.2晶圆级MEMS封装119
参考文献122