气相沉积薄膜强韧化技术

字数: 376000
装帧: 精装
出版社: 国防工业出版社
作者: 杜军,朱晓莹,底月兰
出版日期: 2018-05-01
商品条码: 9787118115222
版次: 1
开本: 16开
页数: 299
出版年份: 2018

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内容简介

本书重点介绍了作者课题组近几年来在国家自然科学基金、国防预研基金、重点实验室基金等一系列基础研究项目的支持下，在物理气相沉积硬质薄膜强韧化方法、理论、表征及强韧化薄膜应用领域的研究成果。主要论述了如何制备和表征具有强、韧性能的薄膜，包括薄膜的制备方法，薄膜强化技术，薄膜韧化技术，薄膜的强韧性能表征，薄膜内应力，强韧化薄膜实例。

第1章薄膜制备方法

1.1基本概念

1.1.1薄膜生长过程

1.1.2薄膜结构模型

1.1.3等离子体

1.2物理气相沉积

1.2.1蒸发镀膜

1.2.2溅射鍍膜

1.2.3离子镀膜

1.2.4离子束辅助气相沉积

1.3化学气相沉积

1.3.1化学反应原理

1.3.2化学气相沉积技术的分类和简介

1.3.3化学气相沉积过程及特点

1.3.4化学气相沉积技术在工模具上的应用

1.4气相沉积技术的应用及进展

1.5小结

第2章薄膜强化技术

1.1薄膜的强化方法

……