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极紫外与软X射线多层膜偏振元件研究/同济博士论丛

字数: 165千字
装帧: 精装
出版社: 同济大学出版社
作者: 王洪昌，王占山著
出版日期: 2017-08-01
商品条码: 9787560869322
版次: 1
开本: 16开
页数: 0
出版年份: 2017

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内容简介

针对极紫外和软X射线常规周期多层膜偏振元件带宽窄导致的测试困难的现状，本文首次提出了非周期多层膜宽带偏振光学元件的方法，克服了常规周期多层膜带宽窄、测试时元件需要平移或旋转的难题。