半导体材料与器件表征--聚文网

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内容简介

本书是有名微电子学专家,美国亚利桑那州立大学电气、计算机与能源工程学院摄政董事迪特尔·K·施罗德（DIETER K. SCHRODER）教授编著的。《半导体材料与器件表征（第2版1998.6.3）出版后，半导体材料与器件及其相关技术在纳米技术、量子点、量子阱等方面又有了新的巨大进步，迪特尔·K·施罗德教授重新撰写章节并增加了两章内容和260个新的参考资料。本书在每一个章节后增加了额外的习题和复习思考题，使她更像一本教科书。本书分为12章，具体如下：靠前章电阻率第2章载流子与掺杂浓度第3章接触电阻与肖特基势垒第4章串联电阻、沟道长度与宽度、阈值电压第5章缺陷第6章氧化物与界面陷阱电荷、氧化物厚度第7章载流子寿命第8章迁移率第9章基于电荷与探针表征靠前0章光学表征靠前1章化学与物理表征靠前2章可靠性与失效分析本书涉及到半导体材料与器件所有方面的表征手段和方法，是学习、研究、制造和测试半导体材料与器件的教科书和参考书。

作者简介

迪特尔·K·施罗德博士，美国亚利桑那州立大学电气工程系教授。他是亚利桑那州立大学工学院教学很好奖和几个其它教学奖获得者。除了《半导体材料与器件表征》这本书外，施罗德博士也是《优选MOS器件》的作者。

译者序
第3版序言
第1章电阻率
1.1引言
1.2两探针与四探针法
1.2.1修正因子
1.2.2任意形状样品的电阻率
1.2.3测量电路
1.2.4测量误差和注意事项
1.3晶片图
1.3.1双注入
1.3.2调制光反射
1.3.3载流子光照
1.3.4光学密度测定（光密度计）
1.4电阻压型
1.4.1微分霍尔效应
1.4.2扩散电阻压型
1.5非接触测试方法
1.5.1涡旋电流
1.6导电类型
……

半导体材料与器件表征

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