微电子制造技术实验教程/微电子专业实验教材系列丛书

字数: 200000
装帧: 简装
出版社: 科学出版社
作者: 王姝娅，戴丽萍等
出版日期: 2015-07-01
商品条码: 9787030444943
版次: 1
开本: B5
页数: 168
出版年份: 2015

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内容简介

本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验，同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力，注重实验的操作