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中华人民共和国国家标准多晶硅工厂设计规范GB51034-2014

中华人民共和国国家标准多晶硅工厂设计规范GB51034-2014

  • 字数: 96.00千字
  • 装帧: 平装
  • 出版社: 中国计划出版社
  • 作者: 中华人民共和国住房和城乡建设部,中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 联合发布
  • 出版日期: 2015-03-01
  • 商品条码: 9158024253504
  • 版次: 1
  • 开本: 32开
  • 页数: 111
  • 出版年份: 2015
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精选
内容简介
本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
目录
1总则
2术语
3基本规定
4厂址选择及厂区规划
5工艺设计
6电气及自动化
7辅助设施
8建筑结构
9给水、排水和消防
10采暖、通风与空气调节
11环境保护、安全和卫生
12节能、余热回收
附录A地下管线与建(构)筑物之间的最小水平净距
附录B地下管线之间的最小水平净距
附录C主要房间空气洁净度、温度、湿度
本规范用词说明
引用标准名录
附:条文说明

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