光学薄膜及其应用

本书共分三大部分。 靠前部分阐述了光学薄膜的基本性质，包括光学薄膜的光学性质和力学性质。在光学性质中，主要讨论了光学薄膜的一般计算和几类主要光学薄膜器件的特性分析；光学薄膜的吸收散射损耗；光学薄膜的设计。力学性质中主要讨论了薄膜应力的的形成和发展机制及测量方法；几种单层膜的应力与薄膜沉积参数的关系以及多层膜的应力组合；薄膜应力的在线分析以及应力演化过程。第二部分讨论了几类特殊光学薄膜的相关性质。包括：紫外薄膜；极紫外和X射线薄膜；多层介质膜光栅和导模共振滤光片；雕塑薄膜及双折射薄膜；金属基光学薄膜。第三部分集中讨论了光学薄膜在激光系统中的应用。可以分为两大块。靠前块， 叙述激光系统中常用的几种光学薄膜元件的设计、制备和性能分析；第二块，讨论了激光对光学薄膜的破坏机制和破坏过程。本书内容为作者及其同事和学生们多年来研究结果的总结。

1 光学薄膜的基本性质和设计方法
1.1 光学薄膜的光学性质
1.1.1 薄膜光学的理论基础
1.1.2 光学薄膜的吸收
1.1.3 吸收对光学薄膜性能的影响
1.1.4 光学薄膜的散射
1.1.5 光学薄膜的不均匀性
1.1.6 光学薄膜的各向异性
1.1.7 光学薄膜的偏振特性
1.1.8 光学薄膜的相位延迟
1.1.9 光学薄膜的群延迟及群延迟色散
参考文献
1.2 光学薄膜的力学性质
1.2.1 薄膜应力的形成及分类
1.2.2 薄膜内应力的力学模型
1.2.3 薄膜应力的微观力学模型
1.2.4 沉积工艺对光学薄膜应力的影响
1.2.5 多层膜应力
1.2.6 光学薄膜应力发展的实时监测
1.2.7 光学薄膜的应力破坏
参考文献
1.3 光学薄膜的设计
1.3.1 光学薄膜的分析设计
1.3.2 光学薄膜自动设计
1.3.3 膜系设计实例
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2 几类特殊的光学薄膜
2.1 紫外光学薄膜
2.1.1 紫外光及紫外光学薄膜的一般特性
2.1.2 影响紫外高反膜光学性能的主要因素
2.1.3 几种紫外激光薄膜
参考文献
2.2 极紫外和软X射线薄膜
2.2.1 软X射线多层膜设计的基本理论
2.2.2 软X射线及极紫外薄膜的一般设计结果
2.2.3 多层膜的性能分析
2.2.4 软X射线多层膜反射镜的研制
2.2.5 性能测试
2.2.6 几种反射膜的研制
2.2.7 软X射线多层膜分光元件的研制
2.2.8 反射型软X射线位相光栅的研制
参考文献
2.3 介质膜光栅
2.3.1 多层介质膜光栅
2.3.2 多层介质膜光栅的衍射特性分析
2.3.3 多层介质膜脉冲压缩光栅的优化设计
2.3.4 介质膜光栅中的导模共振
参考文献
2.4 雕塑薄膜
2.4.1 倾斜沉积雕塑薄膜的基本性质
2.4.2 有效介质理论介绍
2.4.3 雕塑薄膜的制备及结构特征
2.4.4 几种雕塑薄膜
参考文献
3 光学薄膜在激光系统中的应用
3.1 概述
参考文献
3.2 激光系统中的几类激光薄膜
3.2.1 反射膜
3.2.2 激光减反射薄膜
3.2.3 激光偏振膜
3.2.4 波长分离膜
3.2.5 高斯输出镜
3.2.6 负色散补偿反射镜
参考文献
3.3 光学薄膜的激光破坏
3.3.1 激光对光学薄膜破坏的一般规律
3.3.2 激光对光学薄膜破坏的热过程分析
3.3.3 光学薄膜激光破坏的热力耦合
3.3.4 光学薄膜的缺陷破坏
3.3.5 光学薄膜中的节瘤缺陷
3.3.6 光学薄膜的非线性破坏
3.3.7 多脉冲激光对光学薄膜的破坏
3.3.8 真空环境下光学薄膜的激光破坏
参考文献
附录各章节参考研究生论文题目
索引
致谢