新型传感技术及应用（第2版）--聚文网

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内容简介

《新型传感技术及应用(第2版)》结合靠前上传感技术及应用方面的近期新发展趋势，就传感技术的共性基础问题与几种有代表性的传感器进行了深入系统地讨论。在传感技术的共性基础问题中，介绍了传感技术涉及的优选材料、制造工艺、传感器建模；在有代表性的传感器中，介绍了硅电容式集成传感器、谐振式传感器、声表面波式传感器、薄膜式传感器与磁传感器。在介绍每一种传感器时，既重视理论分析，又结合实际应用，以便于读者掌握。《新型传感技术及应用(第2版)》的每章后都配有思考题与习题。
《新型传感技术及应用(第2版)》可作为仪器科学与技术、控制科学与工程、机械工程等学科专业硕士研究生的教材，也可供相关学科专业的师生和有关工程技术人员参考。

前言
第一版前言
1 传感器与敏感材料
1.1 概述
1.2 硅材料
1.3 化合物半导体材料
1.4 压电材料
1.5 磁致伸缩材料
1.6 形状记忆合金
1.7 熔凝石英
1.8 光导纤维
1.9 弹性合金
1.10 纳米材料
思考题与习题

2 传感器的制造和封装技术
2.1 概述
2.2 硅微加工技术
2.3 LIGA技术和SLIGA技术
2.4 特种精密加工技术
2.5 封装技术
思考题与习题

3 传感器建模的力学基础
3.1 概述
3.2 弹性体的应力
3.3 弹性体的应变
3.4 弹性体的物理方程
3.5 弹性体的能量方程
思考题与习题

4 传感器的建模
4.1 弹性圆柱体（杆）的建模
4.2 梁的建模
4.3 圆平膜片的建模
4.4 矩形（方形）平膜片的建模
4.5 波纹膜片的建模
4.6 E形圆膜片的建模
4.7 带有顶盖的圆柱壳的建模
4.8 很好开口圆柱壳的建模
4.9 半球壳的建模
思考题与习题

5 硅电容式集成传感器
5.1 概述
5.2 硅电容式集成压力传感器
5.3 硅电容式集成压力传感器的接口电路
5.4 硅电容式加速度传感器
5.5 硅电容式角速度传感器
思考题与习题

6 谐振式传感器
6.1 概述
6.2 谐振式传感器的基础理论
6.3 谐振弦式压力传感器
6.4 谐振膜式压力传感器
6.5 谐振筒压力传感器
6.6 谐振式角速率传感器
6.7 谐振式直接质量流量传感器
6.8 硅微结构谐振式传感器
6.9 硅微结构谐振式传感器开环特性测试仪
思考题与习题

7 声表面波传感器
7.1 概述
7.2 表面波的基本理论
7.3 声表面波叉指换能器
7.4 声表面波谐振器
7.5 SAW加速度传感器
7.6 SAW压力传感器
7.7 SAW气体传感器
7.8 SAW流量传感器
思考题与习题

8 薄膜传感器
8.1 概述
8.2 几种薄膜传感器
思考题与习题

9 磁传感器
9.1 概述
9.2 磁传感器的工作原理
9.3 霍尔元件与霍尔传感器
9.4 磁阻元件和传感器
9.5 硅谐振式磁传感器简介
思考题与习题
参考文献

摘要

    传感器是由对外界变化敏感的材料，即功能材料制成的器件或系统。这种功能材料也称为敏感材料。它直接感受被测对象施与的能量，、并以形变或物性变化响应，再将其转换为可用的电信号输出。
    敏感材料有多种，包括半导体、。绝缘体、压电材料、金属材料、磁性材料、有机材料以及超导材料等。而现代传感器用得很多的敏感材料当属半导体及其化合物和化合物半导体。
    敏感材料的材质是设计和制造高性能传感器的基础。材料自身的优良性能能否充分发挥，在很大程度上取决于制造它时采用的工艺方法和处理过程。工艺方法和处理过程不当，会导致材料内部产生残余应力，制约了材料固有优良性能的发挥，很终影响到传感器性能，使之下降。所以，在设计和制造传感器时，除优选敏感材料外，还必须考虑选择恰当的工艺方法。
    此外，从传感器整体结构考虑，还应充分考虑与传感器敏感部分相匹配的一些结构材料的选用，以减小因膨胀系数不同而产生的热应力和隔离外界非被测对象（或因素）对敏感部分的干扰。

……

新型传感技术及应用（第2版）

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