微机电系统工程基础

装帧: 平装
出版社: 中国科学技术大学出版社
作者: 王琪民刘明侯著
出版日期: 2010-06-26
商品条码: 9787312024689
版次: 0
开本: 16开
页数: 0
出版年份: 2010

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内容简介

本书共11章，较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基础知识，分析了微系统中的工程特点，与传统工程科学的区别，传统理论在微机电系统应用中所受到的及其修正，微机电系统中常见的失效方式及其应对原则等。