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硅微机械传感器

硅微机械传感器

  • 装帧: 精装
  • 出版社: 中国宇航出版社
  • 作者: 埃尔文斯波克(ElwenspoekM.) 著作
  • 出版日期: 2003-09-01
  • 商品条码: 9787801446060
  • 版次: 1
  • 开本: 大32开
  • 出版年份: 2003
定价:¥35 销售价:登录后查看价格  ¥{{selectedSku?.salePrice}} 
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精选
内容简介
本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。

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