射频等离子体物理基础--聚文网

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内容简介

本书较为全面、系统地介绍了低气压非热平衡等离子体的物理基础和射频等离子体特性。全书分两大部分，其中第一部分为第1~8章，主要介绍低温等离子体的物理模型，包括概述、碰撞模型、粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运模型、射频鞘层模型、整体模型等；第二部分为第9~14章，侧重介绍不同类型的射频放电和射频等离子体特性，如容性耦合等离子体、甚高频容性耦合等离子体中的电磁效应、柱状线圈感性耦合等离子体、平面线圈感性耦合等离子体、螺旋波等离子体和电子回旋共振微波等离子体。

本书可作为等离子体物理和相关专业高年级本科生和研究生的教学用书，也可作为从事低温等离子体科学和应用技术（如等离子体刻蚀和薄膜沉积技术）研究人员的参考用书。

第1章概述1
1.1 等离子体的基本概念1
1.2 等离子体的状态参数及分类2
1.3 等离子体的基本特性4
1.4 悬浮鞘层8
1.5 基本碰撞类型13
1.6 表面过程16
1.7 低气压放电概述20
1.8 低温等离子体的基本物理模型22
习题1 25
参考文献26
第2章碰撞过程和碰撞截面27
2.1 二体弹性碰撞理论27
2.2 经典散射理论31
2.3 中性粒子的弹性碰撞35
2.4 带电粒子的弹性碰撞37
2.5 离子与原子的弹性碰撞39
2.6 电子与原子的弹性碰撞43
2.7 电子与原子的非弹性碰撞47
2.8 电子与分子的碰撞53
……

射频等离子体物理基础

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