原子层沉积制造技术及生物传感应用

字数: 233000
装帧: 精装
出版社: 化学工业出版社
作者: 刘磊
出版日期: 2024-03-01
商品条码: 9787122451248
版次: 1
开本: 16开
页数: 232
出版年份: 2024

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1.以实际案例作为切入点展开论述，贴近生活，可借鉴性强 2.图文并茂，数据详实，结构模型剖析深入，专业性强

内容简介

本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积（ALD）技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的优选性和实际应用。
本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用，也可作为高等院校相关专业师生的参考书。

作者简介

无

1原子层沉积（ALD）概述1
1.1原子层沉积技术原理2
1.2原子层沉积技术的特点7
1.3原子层沉积系统8
1.3.1横向流动式9
1.3.2垂直流动式9
1.3.3径向流动式10
1.4原子层沉积材料10
参考文献11
2原子层沉积技术拓展15
2.1多金属源共馈ALD16
2.1.1多金属源共馈ALD原理16
2.1.2多金属源共馈ALD系统17
2.1.3多金属源共馈ALD沉积异质结构18
2.2等离子体增强ALD技术19
2.2.1多金属源共馈ALD原理20
2.2.2等离子体增强ALD的特点21
2.2.3等离子体增强ALD系统24
2.2.4等离子体增强ALD沉积材料26
……