固体中能量电子的输运（第3版）--聚文网

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内容简介

书中重点聚焦于固体中电子输运过程的仿真方法、二次电子发射特性仿真分析及其应用三个部分。首先主要介绍了电子散射截面计算方法、随机数、最小值、蒙特卡罗仿真策略等；然后在二次电子发射特性仿真分析重点讨论了背散射系数、二次电子发射系数、二次电子能谱的计算结果；最后讨论了仿真方法在SEM中线宽测量、能量选择扫描电子掺杂衬度计算以及PMMA中的能量沉积。第三版是前两版内容的延伸，更新内容包括了电子束的自旋极化理论、分子弹性散射的研究，Bethe-Bloch阻止本领公式的简化、f-sum规则、ps-sum规则、用于计算背散射系数的Vicanek和Urbassek公式以及二次电子能谱的Wolff理论。第3版中电子与物理相互作用的理论更为全面，蒙特卡罗仿真的实用性也更强。

作者简介

张娜，博士，高级工程师，中国空间技术研究院杰青人才，主要研究领域为二次电子发射及空间微波特殊效应。获陕西省科学技术二等奖1项（“二次电子发射特性关键技术及其应用”，技术发明类），获国防技术发明二等奖2项。在国际重要会议和期刊等发表学术论文20余篇，其中SCI、EI收录10余篇，授权发明专利12项。申请者出版译著1部，共同出版专著、编著等3部。

第一章固体中电子的输运；第二章最小值计算；第三章散射截面：基本原理；第四章散射机制；第五章随机数；第六章蒙特卡洛策略；第七章电子束与固体和薄膜互作用的基本理论；第八章背散射系数；第九章二次电子发射系数；第十章二次电子能量分布；第十一章应用

固体中能量电子的输运（第3版）

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