微制造与纳米技术/国际制造业先进技术译丛--聚文网

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内容简介

N.P.马哈里克编著的《微制造与纳米技术》主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS ）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法，以及应用和前景等。全书不仅具有权威性，而且内容丰富、理论深入浅出、实用性强，是广大微制造与纳米技术领域工作者和有关院校师生比较理想的一本参考书籍。

作者简介

N．P．马哈里克（N．P．Mahalik）光州科学技术学院机电系，韩国光州广域市五龙洞北区1号，500－712

译丛序言译者的话前言第1章导论第2章微机电系统与微光机电第3章微制造中的激光技术第4章激光干涉仪几何误差软补偿第5章体微加工中的蚀刻工艺表征第6章表面微加工和晶片粘合工艺的特点第7章文件安全领域微加工：光变图像第8章纳米修整技术第9章微纳米技术在空间微推进系统中的应用第10章碳纳米管的制造和应用：纳米技术基础第11章碳基纳米结构第12章分子逻辑门第13章用于生物传感器的纳米力学悬臂装置第14章微型能源和化学系统（MECS）和多尺第15章雕塑薄膜第16章电子束蚀刻技术与纳米装配——精密化学工程第17章倏逝近场纳米光刻技术第18章纳米技术在燃料电池上的应用第19章碳纳米与胺衍生：一种无溶剂技术第20章 C60薄膜中化学交联

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