谐振式传感器（第2版）

本书讨论了谐振式传感 器所涉及的共性基础理论和 几种有代表性的谐振式传感 器：谐振式压力传感器、谐 振式加速度传感器、谐振式 角速度传感器、谐振式直接 质量流量传感器和声表面波 谐振式传感器等。 本书可供仪器科学与技 术、控制科学与工程、机械 工程等学科领域的研究生、 高年级本科生，以及工程技 术人员参考。

第1章 谐振式传感器的基础理论 1.1 概述 1.2 谐振现象 1.3 谐振式传感器的基本结构及闭环系统实现 1.3.1 传感器的基本结构 1.3.2 闭环系统的时域分析 1.3.3 闭环系统的复频域分析 1.4 谐振式传感器的敏感机理 1.4.1 传感器的输出方式 1.4.2 测量机理的讨论 1.5 谐振敏感元件的机械品质因数 1.5.1 机械品质因数定义及内涵 1.5.2 对传感器闭环系统的影响 1.5.3 提高机械品质因数的措施 1.6 谐振式传感器的动态特性 1.6.1 阶跃特性 1.6.2 正弦周期特性 1.7 谐振式传感器输出信号的检测方法 1.7.1 频率输出 1.7.2 相位差输出 1.7.3 幅值比输出 1.8 谐振式传感器的核心关键问题 1.9 谐振式传感器的特征与优势 1.10 谐振弹性敏感元件的材料 1.10.1 精密恒弹合金 1.10.2 单晶硅 1.10.3 熔凝石英 1.10.4 压电石英晶体 1.10.5 石墨烯 思考题 第2章 谐振式压力传感器 2.1 概述 2.2 基本工作原理 2.3 谐振弦式压力传感器 2.3.1 结构与原理 2.3.2 频率特性方程 2.3.3 激励方式 2.4 谐振膜式压力传感器 2.4.1 结构与原理 2.4.2 频率特性方程 2.5 电磁激励谐振筒式压力传感器 2.5.1 结构与原理 2.5.2 频率特性方程 2.5.3 激励方式 2.5.4 特性线性化与误差补偿 2.6 压电激励谐振简式压力传感器 2.6.1 结构与原理 2.6.2 压电激励特性 2.6.3 检测信号的转换 2.6.4 稳定的单模态自激系统的实现