薄膜晶体管原理及应用(电子科学与技术第2版高等学校电子信息类专业系列教材)

作为薄膜晶体管技术的 入门教材，本书以非晶硅薄 膜晶体管和多晶硅薄膜晶体 管为例详细讲解了与薄膜晶 体管技术相关的材料物理、 器件物理和制备工艺原理， 以及薄膜晶体管在平板显示 等技术领域中的应用原理等 。 本书共分7章。第1章简 单介绍薄膜晶体管的发展简 史和技术分类；第2章详细 阐述薄膜晶体管在平板显示 有源矩阵驱动中的应用原理 ；第3章深入讲解薄膜晶体 管相关的半导体、绝缘体和 电极材料物理；第4章详细 阐述非晶硅薄膜晶体管和多 晶硅薄膜晶体管器件物理的 相关基础知识；第5章系统 介绍薄膜晶体管制备的单项 工艺原理；第6章详细讲解 非晶硅薄膜晶体管阵列和多 晶硅薄膜晶体管阵列工艺整 合原理及柔性薄膜晶体管背 板的制备工艺；第7章简单 总结全书并展望非晶氧化物 薄膜晶体管技术的发展趋势 和薄膜晶体管在非显示领域 的应用前景。除第7章外每 章后附有习题，可供课堂练 习或课后作业使用。 本书适合作为大学本科 生和研究生相关课程的教材 ，也适合从事薄膜晶体管技 术相关工作的工程技术人员 作为技术培训和在职进修的 教材或参考书籍。本书附有 配套教学大纲和教学课件， 可供相关教师参考。

董承远 上海交通大学电子信息与电气工程学院电子工程系副教授，主要研究方向为新型薄膜晶体管器件，及其在显示、传感和存储领域的应用等。2003年7月毕业于上海交通大学材料科学与工程学院，获工学博士学位。2003—2008年先后在上海广电NEC、昆山龙腾光电和上海天马等国内几家主要平板显示企业从事与TFT背板技术相关的工艺开发、产品设计和新技术研发工作等；2008年年底加入上海交通大学至今；兼任SID北京分会显示技术培训委员会主席、显示制造技术委员会副主席，Micromachines期刊客座编辑等。主持或参与国家、地方政府和企业科研项目10余项，发表论文70余篇，申请发明专利10余项，编著教材1部。

第1章 绪论 1.1 薄膜晶体管发展简史 1.2 薄膜晶体管的技术分类及比较 1.3 薄膜晶体管的应用简介 1.4 本书的主要内容及架构 习题 参考文献 第2章 平板显示的有源矩阵驱动 2.1 平板显示简介 2.1.1 显示技术的分类及特性指标 2.1.2 平板显示的定义和分类 2.1.3 液晶显示器件的基本原理 2.1.4 有机发光二极管显示的基本原理 2.1.5 电子纸显示的基本原理 2.2 液晶显示的有源矩阵驱动 2.2.1 液晶显示的静态驱动和无源矩阵驱动简介 2.2.2 AMLCD像素电路的充放电原理 2.2.3 AMLCD像素阵列的相关原理 2.2.4 液晶显示有源矩阵驱动的特殊方法 2.2.5 液晶显示有源矩阵驱动的技术要求 2.3 有机发光二极管显示的有源矩阵驱动 2.3.1 有机发光二极管显示的无源矩阵驱动简介 2.3.2 有机发光二极管显示的有源矩阵驱动基本原理 2.3.3 AMOLED电压型像素电路的补偿原理 2.3.4 有机发光二极管显示的有源矩阵驱动技术要求 2.4 电子纸显示的有源矩阵驱动 2.4.1 电子纸显示的驱动波形 2.4.2 电子纸显示的有源矩阵驱动技术要求 2.5 平板显示外围驱动电路和SOG技术 2.5.1 AMLCD外围驱动电路简介 2.5.2 SOG技术基础简介 2.5.3 GOA技术的基本原理 2.6 本章小结 习题 参考文献 第3章 薄膜晶体管材料物理 3.1 非晶硅材料物理 3.1.1 非晶体简介 3.1.2 非晶硅材料结构 3.1.3 非晶硅电学特性 3.2 多晶硅材料物理 3.2.1 多晶体简介 3.2.2 多晶硅材料结构 3.2.3 多晶硅电学特性 3.3 薄膜晶体管绝缘层材料 3.3.1 绝缘层介电特性 3.3.2 绝缘层漏电特性 3.3.3 氮化硅薄膜 3.3.4 氧化硅薄膜 3.4 薄膜晶体管电极材料