内孔金刚石涂层的制备及应用

本书首先阐述了内孔化 学气相沉积金刚石涂层技术 及应用研究的重要意义，针 对不同内孔应用条件制备具 有不同特性的高性能热丝化 学气相沉积(chemical vapordeposition，CVD)金 刚石薄膜，并研究了不同类 型热丝CVD金刚石薄膜的摩 擦学性能，进一步对内孔沉 积热丝CVD金刚石涂层的温 度场和气场进行仿真分析研 究。在此基础上，进行CVD 金刚石薄膜涂层拉拔模具的 孔型设计，开展CVD金刚石 涂层拉拔模具的制备及应用 研究。最后，还进行了内孔 金刚石涂层在耐冲蚀磨损器 件方面应用技术开发。本书 对内孔金刚石涂层关键技术 进行了全面系统的研究，丰 富了CVD金刚石薄膜涂层应 用技术内涵并拓宽了其应用 范围。 本书可作为相关专业本 科生及研究生的教学参考书 ，对从事超硬涂层及其工具 研发、生产和使用的专业人 员也有一定参考价值。

第l章 绪论 1.1 技术背景与意义 1.2 国内外研究现状综述 1.3 本书主要内容 第2章 高性能热丝CVD金刚石薄膜的制备及性能表征 2.1 引言 2.2 碳源影响性分析 2.3 高性能复合金刚石薄膜的制备及性能表征 2.4 本章小结 第3章 热丝CVD金刚石薄膜的摩擦学性能研究 3.1 引言 3.2 热丝CVD金刚石薄膜的冲蚀磨损试验及理论分析 3.3 热丝CVD金刚石薄膜的冲蚀磨损性能及机理 3.4 热丝CVD金刚石薄膜的标准摩擦磨损性能及机理研究 3.5 热丝CVD金刚石薄膜的应用摩擦磨损性能研究 3.6 碳源对微米金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响 3.7 水基润滑下金刚石薄膜的摩擦磨损性能 3.8 基于摩擦学试验的内孔金刚石薄膜沉积参数优化方法 3.9 本章小结 第4章 内孔沉积热丝CVD金刚石薄膜的物理场仿真研究 4.1 引言 4.2 内孔热丝CVD设备及金刚石薄膜沉积原理 4.3 内孔沉积热丝CVD金刚石薄膜的温度场和气场分布研究 4.4 产业化沉积装置中基体排布方式的优化 4.5 本章小结 第5章 热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的孔型设计 5.1 引言 5.2 拉拔模具孔型优化设计的理论和方法 5.3 金刚石薄膜涂层拉丝模优化设计 5.4 金刚石薄膜涂层异型拉丝模优化设计 5.5 金刚石薄膜涂层拉管模优化设计 5.6 本章小结 第6章 热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备及应用 6.1 引言 6.2 常规金刚石薄膜涂层模具的制备及应用 6.3 硼掺杂-微米-纳米金刚石复合薄膜涂层圆孔拉拔模具的制备及应用 6.4 小孔径内孔涂层技术及应用 6.5 超大孔径内孔涂层技术及应用 6.6 硼掺杂金刚石薄膜涂层异型拉拔模的制备及应用 6.7 水基润滑金刚石薄膜涂层铝拉丝模的应用 6.8 不穿丝内孔涂层技术及应用 6.9 本章小结 第7章 热丝CVD金刚石薄膜在耐冲蚀磨损器件内孔中的应用 7.1 引言 7.2 硼掺杂-微米金刚石复合薄膜涂层喷嘴的制备及应用 7.3 金刚石薄膜涂层煤液化减压调节阀阀座的制备及应用 7.4 本章小结 参考文献 索引