洁净室的检测与运行管理(第2版)

本书在第一版的基础上进行改写，根据目前洁 净室最新的技术发展以及现行国际标准、国家标准 的要求，对绝大部分内容进行了修订。特别是增加 了洁净室的运行管理规章制度等相关内容，对洁净 室安全、节能运行具有很好的借鉴意义。本书的第 二版紧跟洁净技术发展的形势，把近年来我国洁净 室及相关受控环境领域的技术进步和科研成果反映 出来，供相关从业人员和准备入行的学者查阅、参 考。在本书的一些相应章节中也介绍了国内这些单 位和企业的实践经验和新技术、新产品。

第1章 洁净室及相关受控环境的检测类别与项目 1.1 洁净室及相关受控环境检测的类别 1.2 洁净室及相关受控环境的竣工验收 1.2.1 竣工验收的外观检查 1.2.2 竣工验收的调试工作 1.2.3 竣工验收所需文件 1.2.4 竣工验收的检测项目 1.3 洁净室及相关受控环境综合性能评价 1.3.1 国内相关标准所规定的测试项目 1.3.2 《洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法》ISO 14644-3规定的检测项目 1.3.3 美国国家环境平衡局(NEBB)所规定的检测项目 1.4 洁净室的性能监测 1.4.1 国家标准《洁净室及相关受控环境第2部分：证明持续符合GB／T 25915.1的检测与监测技术条件》GB／T 25915.2—2010关于性能监测的规定 1.4.2 国际标准《洁净室及相关受控环境 第2部分》ISO 14644—2关于性能监测的规定 1.5 洁净室测试时所处的状态一 复习思考题 第2章 洁净室及相关受控环境的风量、压差等基础测试项目 2.1 洁净室及相关受控环境的风速与风量测定 2.1.1 单向流洁净室或设施的风速测定 2.1.2 非单向流洁净室及相关受控环境的风量测定方法 2.1.3 风速、风量测试评定标准 2.1.4 单向流风速测定结果分析 2.2 压差测试 2.3 高效空气过滤器的检漏 2.3.1 高效过滤器安装在吊顶、墙上或设备上时的检漏测试 2.3.2 高效过滤器安装在管道或空气处理机上时的过滤器的整体检漏 2.3.3 检漏测试报告 2.4 送风的气流目检 2.4.1 气流目检的主要方法 2.4.2 气流目检的具体操作 2.4.3 气流测试报告 2.5 温度与湿度测试 2.5.1 一般温、湿度测试 2.5.2 综合温、湿度测试 2.5.3 温度、湿度测试报告 2.6 密封检漏测试 2.6.1 使用离散粒子计数器测试污染渗漏 2.6.2 使用气溶胶光度计测试污染渗漏 2.6.3 隔离检漏测试报告 2.7 噪声、微振动与照度的测试 2.7.1 相关的标准与规定 2.7.2 噪声、微振动与照度的检测 2.8 静电测试 2.8.1 相关的规范规定 2.8.2 静电测试方法 2.9 隔离测试(B.11) 2.9.1 总则(B.11.1) 2.9.2 程序(B.11.2) 2.9.3 测试报告(B.11.3) 复习思考题 第3章 空气中悬浮粒子的测试 3.1空气洁净度等级 3.1.1 现行国家标准 3.1.2 国际新标准 3.1.3 国际标准ISO 14644-1新旧版本的异同 3.2 采样点数量及位置 3.2.1 ISO 14644-1：2015有关采样点的规定 3.2.2 ISO 14644-1新旧标准有关采样点的规定比较 3.3 各个采样点的最少单次采样量 3.3.1 各个采样点单次采样量的确定原则 3.3.2 ISO 14644-1新旧标准采样时间的差异 3.4 测试前的准备工作 3.4.1 测试前的预测试工作 3.4.2 洁净室空气中悬浮粒子浓度检测采样时应注意问题 3.4.3 ISO 14644-1：2015对确定空气洁净度的测试采样点位置的规定 3.5 空气中悬浮粒子浓度的采样及数据整理 3.5.1 空气中悬浮粒子浓度的统计计算原则 3.5.2 95％置信上限的计算方法 第4章 检测仪器、仪表与操作方法 第5章 微生物污染控制与微生物检测 第6章 表面粒子污染及其控制 第7章 洁净室及受控环境空气化学污染的控制 第8章 隔离装置的检测与运行管理 第9章 洁净室性能检测报告示例 第10章 洁净室污染控制分析与策略 第11章 洁净室的制度与纪律 第12章 洁净室及相关受控环境的人员进出与服装 第13章 进入洁净室及相关受控环境的设备和材料 第14章 洁净室及相关受控环境的清洁工作 附录 洁净室及相关受控环境系列标准的术语 参考文献