纳米构建热电薄膜(精)/未来能源技术系列丛书

随着半导体热电材料性 能与热电器件效率的提升 ，热电发电系统未来很有 可能替代传统瓦特时代的 机械热机，成为新一代环 保、高效、全固态的热能 启动发电系统。 本书基于 作者多年来从事热电薄膜 所积累的创新科研成果， 梳理了热电薄膜的微观结 构设计与性能调控策略， 总结了利用低维纳米结构 提高材料热电性能的手段 。本书使用物理气相沉积 方法构建纳米尺度的热电 薄膜，以大量详实的第一 手试验数据为依据，探索 不同材料种类、厚度、加 工条件对热电性能的影响 ，并建立了数学模型，通 过调控相关参数实现热学/ 电学性能的可编辑，最终 达到提升热电转换效率的 目的。本书的主要研究对 象为Si基和Sb2Te3基多层 薄膜以及Sb2Te3和Bi2Te3 基薄膜。同时，对热电薄 膜的未来发展及应用提出 了思考和展望，利于启发 从事能量转换与利用的读 者的创新思维。本书可供 希望了解更多有关高性能 低维材料制备的研究人员 、工程技术人员和高等院 校相关专业的师生参考。

l 研究背景与现状 1.1 研究背景 1.2 热电效应及发展 1.2.1 塞贝克效应 1.2.2 热电材料性能参数 1.2.3 Si基热电材料研究进展 1.2.4 Sb2Te3和Bi2Te3热电材料研究进展 1.3 周期性纳米多层薄膜 1.3.1 周期性纳米多层薄膜概述 1.3.2 周期性纳米多层薄膜热电性能 1.3.3 周期性纳米多层薄膜热稳定性 1.4 本章小结 2 热电性能测试方法与装置 2.1 薄膜热导率的测量 2.1.1 3co法 2.1.2 TDTR法 2.2 电导率及霍尔效应测试 2.3 塞贝克系数测试 2.4 本章小结 3 Si基多层薄膜 3.1 Si/Si0175Ge0 25多层薄膜 3.1.1 薄膜制备 3.1.2 结构表征 3.1.3 薄膜热导率 3.2 Si/SbGe0.25+Au多层薄膜 3.2 1薄膜制备 3.2.2 结构表征 3.2.3 薄膜热导率 3.3 X(X=SbGe。25，Au，Cr，Ti)/Si多层薄膜 3.3.1 薄膜制备 3.3.2 结构表征 3.3.3 薄膜热导率 3.4 Si/Au多层薄膜 3.4.1 薄膜制备 3.4.2 结构表征 3.4.3 薄膜热导率 3.5 本章小结 4 Sb2Te，基多层薄膜 4.1 Au/Sb2Te3多层薄膜 4.1.1 薄膜制备 4.1.2 结构表征 4.1.3 薄膜热导率 4.2 M(M2Au，Ag，cu，Pt，cr，Mo，W，Ta)/Sb2Te3多层薄膜 4.2.1 薄膜制备 4.2.2 结构表征 4.2.3 薄膜热导率 4.2.4 热导率理论分析 4.3 Cu/Sb2Te3多层薄膜 4.3.1 薄膜制备与结构分析 4.3.2 薄膜热电性能