光电干涉检测技术(高等院校光电类专业系列规划教材)

本教材结合国家需求， 全面阐述了精密光学干涉传 感技术的原理与技术，及其 在当前国际科技前沿工程领 域中的广泛应用。全书分为 干涉条纹处理与相位恢复、 常见干涉仪、干涉球面检测 与子孔径拼接、干涉非球面 检测技术与系统、常见干涉 光谱器件与系统、光学干涉 检测系统设计等数章内容。

第1章 干涉检测技术基础理论 1.1 光及光的特性 1.1.1 光学简史 1.1.2 光的电磁理论 1.1.3 光的反射与折射定律 1.1.4 光的偏振理论 1.1.5 光场的叠加 1.1.6 光的衍射理论 1.2 光的干涉理论 1.2.1 干涉条件及其测量保证 1.2.2 分波前法干涉 1.2.3 分振幅法干涉 1.3 干涉仪的组成 1.3.1 干涉体系设计 1.3.2 光源选择及照明系统 1.3.3 接收部分与接收器 1.3.4 干涉信号处理部分 1.4 干涉的应用和干涉检测系统举例 1.4.1 “米”的定义 1.4.2 激光干涉仪线性测长 1.4.3 引力波探测 1.4.4 大口径望远镜主镜检测 习题 参考文献 第2章 干涉条纹与Zernike多项式 2.1 典型干涉图分析 2.1.1 平面波干涉图与光程差 2.1.2 球面波与平面波典型干涉图 2.1.3 球面波与球面波典型干涉图 2.1.4 非球面波前典型干涉图 2.1.5 自由曲面典型干涉图 2.2 Zernike多项式及其应用 2.2.1 zernike多项式的数学表达及其性质 2.2.2 基于Zernike多项式的波前拟合技术 2.2.3 Zernike多项式的应用 习题 参考文献 第3章 干涉条纹处理与相位恢复 3.1 单幅闭合条纹干涉图相位恢复技术 3.1.1 单幅干涉图相位恢复的不唯一性 3.1.2 正则化相位跟随(RPT)技术 3.1.3 RPT的改进 3.2 线性载波及傅里叶变换解调技术 3.2.1 基本原理 3.2.2 频率泄漏效应 3.2.3 残留倾斜 3.3 移相干涉技术 3.3.1 移相干涉技术基本原理 3.3.2 移相干涉调制与解调方法 3.3.3 移相干涉技术实现方法