半导体传感器原理与应用(信息与通信工程高等学校电子信息类专业系列教材)

\"本书系统介绍了气敏、湿敏、热敏、磁敏、力敏、光敏和离子敏等半导体敏感元件与传感器的工作原理、制作工艺、特性参数及其应用举例，并介绍了半导体传感器技术的新发展。全书内容丰富，特色鲜明，各章后配有习题。 本书适合用作高等学校电子科学与技术、电子信息科学与技术、微电子学等专业相关课程的教材，也可供从事半导体传感器技术、微电子技术研究的工程人员参考。 \"

第1章 传感器的基础知识 1.1 传感器的基本概念 1.2 传感器的一般特性 1.2.1 传感器的静态特性 1.2.2 传感器的动态特性 1.3 传感器的标定 1.3.1 传感器的静态标定 1.3.2 传感器的动态标定 1.4 提高传感器性能的方法 小结 习题 第2章 半导体传感器敏感材料及典型工艺 2.1 半导体材料 2.1.1 硅材料特性 2.1.2 主要的硅化合物 2.2 电子陶瓷 2.2.1 电子陶瓷的特性 2.2.2 电子陶瓷的制备工艺 2.2.3 电子陶瓷的应用 2.3 有机敏感材料 2.4 金属敏感材料 2.5 常用加工技术 2.5.1 光刻工艺 2.5.2 腐蚀工艺 2.5.3 键合技术 2.5.4 微机械加工技术 2.5.5 LIGA技术 小结 习题 第3章 半导体气敏元件与传感器 3.1 金属氧化物的半导体化 3.2 表面电阻控制型气敏元件 3.2.1 烧结型SnO2气敏元件的结构 3.2.2 厚膜型和薄膜型SnO2气敏元件的结构 3.2.3 SnO2表面电阻控制型气敏元件的工作原理 3.2.4 气敏元件的特性参数 3.2.5 SnO2气敏元件的主要特性 3.2.6 烧结型SnO2气敏元件的制备T艺 3.3 氧化锌（ZnO）表面电阻控制型气敏元件 3.4 体电阻控制型气敏元件 3.4.1 氧化铁（Fe2O3）系传感器 3.4.2 半导体氧敏元件 3.5 ZrO2浓差电池型氧传感器 3.6 电压控制型气敏传感器 3.6.1 肖特基二极管气敏元件 3.6.2 气敏开关元件 3.6.3 MOS二极管气敏元件 3.7 催化金属栅场效应气敏传感器 3.7.1 MOSFET的r作原理 3.7.2 Pd-MOSFET氢敏元件