真空镀膜/真空科学技术丛书

字数: 533
出版社: 化学工业
作者: 李云奇
商品条码: 9787122127808
版次: 1
开本: 16开
页数: 310
出版年份: 2012
印次: 1

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内容简介

《真空科学技术丛书：真空镀膜》是本着突出近代真空镀膜技术进步，注重系统性、强调实用性而编著的。全书共11章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。本书具有权威性、实用性和通用性。《真空科学技术丛书：真空镀膜》可作为从事真空镀膜技术的技术人员、真空专业的本科生、研究生教材使用，亦可供镀膜、表面改型等专业和真空行业技术人员参考。

第1章真空镀膜概论第2章真空镀膜技术基础第3章蒸发源与溅射靶第4章真空蒸发镀膜第5章真空溅射镀膜第6章真空离子镀膜第7章离子束沉积与离子束辅助沉积第8章化学气相沉积第9章薄膜的测量与监控第10章薄膜性能分析第11章真空镀膜技术中的清洁处理参考文献